Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением

Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 64, Номер: 12, Номер статьи : 121572, Страниц : 13 DOI: 10.26902/jsc_id121572

Авторы

Суляева В.С. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Сыроквашин М.М. ¹ , Кожевников А.К. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

Суляева В.С. , Шаяпов В.Р. , Сыроквашин М.М. , Кожевников А.К. , Косинова М.Л.
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex

Sulyaeva V.S. , Shayapov V.R. , Syrokvashin M.M. , Kozhevnikov A.K. , Kosinova M.L.
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	28 сент. 2023 г.
Принята к публикации:	24 окт. 2023 г.
Опубликована online:	1 дек. 2023 г.
Опубликована в печати:	14 дек. 2023 г.

РИНЦ:	55376883
OpenAlex:	W4387896608

Пока нет цитирований