Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением

Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2023, Volume: 64, Number: 12, Article number : 121572, Pages count : 13 DOI: 10.26902/jsc_id121572

Authors

Суляева В.С. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹ , Сыроквашин М.М. ¹ , Кожевников А.К. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

Суляева В.С. , Шаяпов В.Р. , Сыроквашин М.М. , Кожевников А.К. , Косинова М.Л.
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex

Sulyaeva V.S. , Shayapov V.R. , Syrokvashin M.M. , Kozhevnikov A.K. , Kosinova M.L.
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Submitted:	Sep 28, 2023
Accepted:	Oct 24, 2023
Published online:	Dec 1, 2023
Published print:	Dec 14, 2023

Elibrary:	55376883
OpenAlex:	W4387896608

Пока нет цитирований