Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering Full article
Journal |
Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2023, Volume: 64, Number: 12, Pages: 2438-2450 Pages count : 13 DOI: 10.1134/s0022476623120156 | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Syrokvashin M.M.
, Kozhevnikov A.K.
, Kosinova M.L.
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Original:
Суляева В.С.
, Шаяпов В.Р.
, Сыроквашин М.М.
, Кожевников А.К.
, Косинова М.Л.
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: | Sep 28, 2023 |
Published print: | Dec 29, 2023 |
Identifiers:
Web of science: | WOS:001132105400014 |
Scopus: | 2-s2.0-85180826682 |
Elibrary: | 64675829 |
OpenAlex: | W4390414056 |