Sciact
  • EN
  • RU

Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazane Научная публикация

Журнал Coatings
ISSN: 2079-6412
Вых. Данные Год: 2022, Том: 12, Номер: 1, Номер статьи : 80, Страниц : 26 DOI: 10.3390/coatings12010080
Авторы Chagin Maksim N. 1 , Sulyaeva Veronica S. 1 , Shayapov Vladimir R. 1 , Kolodin Aleksey N. 2 , Khomyakov Maksim N. 3 , Yushina Irina V. 1 , Kosinova Marina L. 1
Организации
1 Laboratory of Functional Films and Coatings, Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, SB RAS, 630090 Novosibirsk, Russia
2 Laboratory of Extraction Processes, Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, SB RAS, 630090 Novosibirsk, Russia
3 Laser Plasma Department, Institute of Laser Physics, SB RAS, 630090 Novosibirsk, Russia
Библиографическая ссылка: Chagin M.N. , Sulyaeva V.S. , Shayapov V.R. , Kolodin A.N. , Khomyakov M.N. , Yushina I.V. , Kosinova M.L.
Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazane
Coatings. 2022. V.12. N1. 80 :1-26. DOI: 10.3390/coatings12010080 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 10 дек. 2021 г.
Принята к публикации: 5 янв. 2022 г.
Опубликована в печати: 11 янв. 2022 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000747547800001
Scopus: 2-s2.0-85123690053
РИНЦ: 48145775
OpenAlex: W4205563622
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 9
Web of science 5
Scopus 6
РИНЦ 4
Альметрики: