Sciact
  • EN
  • RU

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ Научная публикация

Журнал Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные Год: 2026, Том: 67, Номер: 8, Номер статьи : 169916, Страниц : DOI: 10.26902/jsc_id169916
Авторы Богословцева А.Л. 1 , Шаяпов В.Р. 1,2 , Чепкасов С.Ю. 1 , Миронова М.И. 1 , Капишников А.В. 1 , Марин Д.В. 1 , Гейдт П.В. 1
Организации
1 Новосибирский государственный университет, Россия
2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Библиографическая ссылка: Богословцева А.Л. , Шаяпов В.Р. , Чепкасов С.Ю. , Миронова М.И. , Капишников А.В. , Марин Д.В. , Гейдт П.В.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Журнал структурной химии. 2026. Т.67. №8. 169916 . DOI: 10.26902/jsc_id169916
Переводная: Bogoslovtseva A.L. , Shayapov V.R. , Chepkasov S.Y. , Mironova M.I. , Kapishnikov A.V. , Marin D.V. , Geidt P.V.
Impact of Growth Temperature During Pulsed Magnetron Sputtering on the Structure and Defects of Aluminum Nitride Films
Journal of Structural Chemistry. 2026. V.67. N8. P.1704-1714. DOI: 10.1134/s0022476626080056 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 3 апр. 2026 г.
Опубликована в печати: 31 авг. 2026 г.
Идентификаторы БД: Нет идентификаторов
Альметрики: