ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2026, Том: 67, Номер: 8, Номер статьи : 169916, Страниц : DOI: 10.26902/jsc_id169916

Авторы

Богословцева А.Л. ¹ , Шаяпов В.Р. ^1,2 , Чепкасов С.Ю. ¹ , Миронова М.И. ¹ , Капишников А.В. ¹ , Марин Д.В. ¹ , Гейдт П.В. ¹

Организации

1	Новосибирский государственный университет, Россия
2	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

Богословцева А.Л. , Шаяпов В.Р. , Чепкасов С.Ю. , Миронова М.И. , Капишников А.В. , Марин Д.В. , Гейдт П.В.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Журнал структурной химии. 2026. Т.67. №8. 169916 . DOI: 10.26902/jsc_id169916

Поступила в редакцию:	3 апр. 2026 г.
Опубликована в печати:	31 авг. 2026 г.

Нет идентификаторов