ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2026, Volume: 67, Number: 8, Article number : 169916, Pages count : DOI: 10.26902/jsc_id169916

Authors

Богословцева А.Л. ¹ , Шаяпов В.Р. ^1,2 , Чепкасов С.Ю. ¹ , Миронова М.И. ¹ , Капишников А.В. ¹ , Марин Д.В. ¹ , Гейдт П.В. ¹

Affiliations

1	Новосибирский государственный университет, Россия
2	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

Богословцева А.Л. , Шаяпов В.Р. , Чепкасов С.Ю. , Миронова М.И. , Капишников А.В. , Марин Д.В. , Гейдт П.В.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Журнал структурной химии. 2026. Т.67. №8. 169916 . DOI: 10.26902/jsc_id169916

Bogoslovtseva A.L. , Shayapov V.R. , Chepkasov S.Y. , Mironova M.I. , Kapishnikov A.V. , Marin D.V. , Geidt P.V.
Impact of Growth Temperature During Pulsed Magnetron Sputtering on the Structure and Defects of Aluminum Nitride Films
Journal of Structural Chemistry. 2026. V.67. N8. P.1704-1714. DOI: 10.1134/s0022476626080056 WOS Scopus OpenAlex

Submitted:	Apr 3, 2026
Published print:	Aug 31, 2026

No identifiers