Sciact
  • EN
  • RU

Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Научная публикация

Журнал Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные Год: 2017, Том: 58, Номер: 1, Страницы: 125-132 Страниц : 8 DOI: 10.15372/JSC20170118
Ключевые слова оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, плазмохимическое осаждение
Авторы Файнер Н.И. 1 , Плеханов А.Г. 1 , Голубенко А.Н. 2 , Румянцев Ю.М. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия

Реферат: На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si—C—N—O—H в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSi(CH3)2)2NH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (O2+xN2) разработан метод получения нанокомпозитных пленок SiCxNyOz:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373—973 K. Методами ИК и энергодисперсионной спектроскопии изучены структура химических связей и элементный состав полученных пленок оксикарбонитрида кремния. Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии.
Библиографическая ссылка: Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Голубенко А.Н. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex
Переводная: Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Maksimovskii E.A. , Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 10 февр. 2016 г.
Идентификаторы БД:
OpenAlex: W4249055935
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: