Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния

Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2017, Том: 58, Номер: 1, Страницы: 125-132 Страниц : 8 DOI: 10.15372/JSC20170118

Ключевые слова

оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, плазмохимическое осаждение

Авторы

Файнер Н.И. ¹ , Плеханов А.Г. ¹ , Голубенко А.Н. ² , Румянцев Ю.М. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия

На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si—C—N—O—H в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSi(CH3)2)2NH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (O2+xN2) разработан метод получения нанокомпозитных пленок SiCxNyOz:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373—973 K. Методами ИК и энергодисперсионной спектроскопии изучены структура химических связей и элементный состав полученных пленок оксикарбонитрида кремния. Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии.

Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Голубенко А.Н. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex

Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Maksimovskii E.A. , Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 Scopus OpenAlex

Поступила в редакцию:

10 февр. 2016 г.

OpenAlex:

W4249055935

Пока нет цитирований