Sciact
  • EN
  • RU

Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Full article

Journal Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Output data Year: 2017, Volume: 58, Number: 1, Pages: 125-132 Pages count : 8 DOI: 10.15372/JSC20170118
Tags оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, плазмохимическое осаждение
Authors Файнер Н.И. 1 , Плеханов А.Г. 1 , Голубенко А.Н. 2 , Румянцев Ю.М. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1
Affiliations
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия

Abstract: На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si—C—N—O—H в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSi(CH3)2)2NH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (O2+xN2) разработан метод получения нанокомпозитных пленок SiCxNyOz:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373—973 K. Методами ИК и энергодисперсионной спектроскопии изучены структура химических связей и элементный состав полученных пленок оксикарбонитрида кремния. Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии.
Cite: Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Голубенко А.Н. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex
Translated: Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Maksimovskii E.A. , Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 WOS Scopus OpenAlex
Dates:
Submitted: Feb 10, 2016
Identifiers:
OpenAlex: W4249055935
Citing: Пока нет цитирований
Altmetrics: