Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния Full article
Journal |
Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2017, Volume: 58, Number: 1, Pages: 125-132 Pages count : 8 DOI: 10.15372/JSC20170118 | ||||
Tags | оксикарбонитрид кремния, нанокомпозитные пленки, 1,1,3,3-тетраметилдисилазан, плазмохимическое осаждение | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
На основе данных термодинамического моделирования осаждения конденсированных фаз сложного состава в системе Si—C—N—O—H в широкой области температур с использованием исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана (HSi(CH3)2)2NH, ТМДС с варьируемой смесью кислорода и азота (O2+xN2) разработан метод получения нанокомпозитных пленок SiCxNyOz:H плазмохимическим разложением этой газовой смеси в области температур 373—973 K. Методами ИК и энергодисперсионной спектроскопии изучены структура химических связей и элементный состав полученных пленок оксикарбонитрида кремния. Исследован in situ состав исходной газовой фазы в процессах PECVD методом эмиссионной оптической спектроскопии.
Cite:
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex
Структура и элементный состав прозрачных нанокомпозитных пленок оксикарбонитрида кремния
Журнал структурной химии. 2017. Т.58. №1. С.125-132. DOI: 10.15372/JSC20170118 OpenAlex
Translated:
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Maksimovskii E.A.
, Shayapov V.R.
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 Scopus OpenAlex
STRUCTURE AND ELEMENTAL COMPOSITION OF TRANSPARENT NANOCOMPOSITE SILICON OXYCARBONITRIDE FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2017. V.58. N1. P.119-125. DOI: 10.1134/S0022476617010188 Scopus OpenAlex
Dates:
Submitted: | Feb 10, 2016 |
Identifiers:
OpenAlex: | W4249055935 |
Citing:
Пока нет цитирований