Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties Научная публикация
| Журнал |
Glass Physics and Chemistry
ISSN: 1608-313X , E-ISSN: 1087-6596 |
||
|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2014, Том: 40, Номер: 6, Страницы: 643-649 Страниц : 7 DOI: 10.1134/S1087659614060042 | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Оригинальная:
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Юшина И.В.
, Шаяпов В.Р.
, Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ
Даты:
| Поступила в редакцию: | 26 дек. 2013 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000345844300008 |
| Scopus: | 2-s2.0-84914095765 |
| РИНЦ: | 24009444 |
| OpenAlex: | W2072799929 |