Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties Full article
| Journal |
Glass Physics and Chemistry
ISSN: 1608-313X , E-ISSN: 1087-6596 |
||
|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2014, Volume: 40, Number: 6, Pages: 643-649 Pages count : 7 DOI: 10.1134/S1087659614060042 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Original:
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Юшина И.В.
, Шаяпов В.Р.
, Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ
Dates:
| Submitted: | Dec 26, 2013 |
Identifiers:
| Web of science: | WOS:000345844300008 |
| Scopus: | 2-s2.0-84914095765 |
| Elibrary: | 24009444 |
| OpenAlex: | W2072799929 |