Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства

Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства Full article

Journal

Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651

Output data

Year: 2014, Volume: 40, Number: 6, Pages: 837-845 Pages count : 9

Authors

Fainer N. I. ¹ , Plekhanov Aleksandr Georgievich ¹ , Ru Yu. M. ¹ , Yushina Irina Viktorovna ¹ , Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹ , Kichai Vadim Nikolaevich ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Румянцев Ю.М. , Юшина И.В. , Шаяпов В.Р. , Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №6. С.837-845. РИНЦ

Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Rumyantsev Y.M. , Yushina I.V. , Shayapov V.R. , Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Elibrary:

22754507

DB	Citing
Elibrary	2