Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии Научная публикация
| Журнал |
Физикохимия поверхности и защита материалов
ISSN: 0044-1856 |
||
|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2017, Том: 53, Номер: 6, Страницы: 662-666 Страниц : 5 DOI: 10.7868/s0044185617060225 | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Суляева В.С.
, Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Файнер Н.И.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex
Переводная:
Sulyaeva V.S.
, Plekhanov A.G.
, Maksimovskii E.A.
, Fainer N.I.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 4 июл. 2016 г. |
| Опубликована в печати: | 1 июн. 2017 г. |
Идентификаторы БД:
| РИНЦ: | 30488372 |
| OpenAlex: | W2804616226 |