Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии

Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии Full article

Journal

Физикохимия поверхности и защита материалов
ISSN: 0044-1856

Output data

Year: 2017, Volume: 53, Number: 6, Pages: 662-666 Pages count : 5 DOI: 10.7868/s0044185617060225

Authors

Суляева В.С. ¹ , Плеханов А.Г. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Файнер Н.И. ¹ , Румянцев Ю.М. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 3

Суляева В.С. , Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Файнер Н.И. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex

Sulyaeva V.S. , Plekhanov A.G. , Maksimovskii E.A. , Fainer N.I. , Rumyantsev Y.M. , Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Submitted:	Jul 4, 2016
Published print:	Jun 1, 2017

Elibrary:	30488372
OpenAlex:	W2804616226

DB	Citing
OpenAlex	1
Elibrary	1