Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии Full article
Journal |
Физикохимия поверхности и защита материалов
ISSN: 0044-1856 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2017, Volume: 53, Number: 6, Pages: 662-666 Pages count : 5 DOI: 10.7868/s0044185617060225 | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Суляева В.С.
, Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Файнер Н.И.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017. V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225 РИНЦ OpenAlex
Translated:
Sulyaeva V.S.
, Plekhanov A.G.
, Maksimovskii E.A.
, Fainer N.I.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: | Jul 4, 2016 |
Published print: | Jun 1, 2017 |
Identifiers:
Elibrary: | 30488372 |
OpenAlex: | W2804616226 |