Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав

Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав Научная публикация

Журнал

Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651

Вых. Данные

Год: 2014, Том: 40, Номер: 5, Страницы: 749-758 Страниц : 10

Авторы

Файнер Надежда Ильинична ¹ , Плеханов Александр Георгиевич ¹ , Румянцев Юрий Михайлович ¹ , Максимовский Евгений Анатольевич ¹ , Шаяпов Владимир Равильевич ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ

Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Rumyantsev Y.M. , Maximovskii E.A. , Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

РИНЦ:

22374780

БД	Цитирований
РИНЦ	6