Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав

Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав Full article

Journal

Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651

Output data

Year: 2014, Volume: 40, Number: 5, Pages: 749-758 Pages count : 10

Authors

Fainer N. I. ¹ , Plekhanov Aleksandr Georgievich ¹ , Ru Yu. M. ¹ , Maksimovskii Evgenii Anatolʹevich ¹ , Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Файнер Н.И. , Плеханов А.Г. , Румянцев Ю.М. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ

Fainer N.I. , Plekhanov A.G. , Rumyantsev Y.M. , Maximovskii E.A. , Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Elibrary:

22374780

DB	Citing
Elibrary	6