Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition Full article
| Journal |
Glass Physics and Chemistry
ISSN: 1608-313X , E-ISSN: 1087-6596 |
||
|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2014, Volume: 40, Number: 5, Pages: 570-577 Pages count : 8 DOI: 10.1134/S1087659614050034 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014. V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Original:
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014. Т.40. №5. С.749-758. РИНЦ
Dates:
| Submitted: | Nov 22, 2013 |
Identifiers:
| Web of science: | WOS:000343722600013 |
| Scopus: | 2-s2.0-84911972972 |
| Elibrary: | 24007152 |
| OpenAlex: | W2052587423 |