Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Тезисы доклада
| Конференция |
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025 , Санкт-Петербург |
||
|---|---|---|---|
| Сборник | Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025 Сборник, ФТИ им. А.Ф. Иоффе. Санкт-Петербург:.2025. 175 c. ISBN 978-5-93634-077-2. |
||
| Вых. Данные | Год: 2025, Страницы: 100 Страниц : 1 | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
В сборнике Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
В сборнике Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
Идентификаторы БД:
Нет идентификаторов
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований