Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Тезисы доклада

Конференция	XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025 , Санкт-Петербург
Сборник	XVI Симпозиум с международным участием "Термодинамика и Материаловедение". Тезисы докладов. Сборник, 2025.
Вых. Данные	Год: 2025, Страницы: 100 Страниц : 1
Авторы	Ермакова Е.Н. 1 , Косинова М.Л. 1
Организации	1 ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090