Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)

Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Conference Abstracts

Conference

XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025»
30 Jun - 4 Jul 2025 , Санкт-Петербург

Source

XVI Симпозиум с международным участием "Термодинамика и Материаловедение". Тезисы докладов.
Compilation, 2025.

Output data

Year: 2025, Pages: 100 Pages count : 1

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
In compilation XVI Симпозиум с международным участием "Термодинамика и Материаловедение". Тезисы докладов.. 2025. – C.100.

No identifiers

Пока нет цитирований