Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Conference Abstracts
| Conference |
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 Jun - 4 Jul 2025 , Санкт-Петербург |
||
|---|---|---|---|
| Source | Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025 Compilation, ФТИ им. А.Ф. Иоффе. Санкт-Петербург:.2025. 175 c. ISBN 978-5-93634-077-2. |
||
| Output data | Year: 2025, Pages: 100 Pages count : 1 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
In compilation Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
In compilation Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
Identifiers:
No identifiers
Citing:
Пока нет цитирований