ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H Тезисы доклада
| Конференция |
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026 , Новосибирск |
||
|---|---|---|---|
| Сборник | ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы" Сборник, ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН. Просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090.2026. 114 c. ISBN 978-5-90168-857-1. |
||
| Вых. Данные | Год: 2026, | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
В сборнике ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2026. – ISBN 978-5-90168-857-1.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
В сборнике ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2026. – ISBN 978-5-90168-857-1.
Идентификаторы БД:
Нет идентификаторов