ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H Conference Abstracts
| Conference |
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 Feb 2026 , Новосибирск |
||
|---|---|---|---|
| Source | ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы" Compilation, ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН. Просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090.2026. 114 c. ISBN 978-5-90168-857-1. |
||
| Output data | Year: 2026, | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
In compilation ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2026. – ISBN 978-5-90168-857-1.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
In compilation ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы". – ФГБУН Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения РАН., 2026. – ISBN 978-5-90168-857-1.
Identifiers:
No identifiers