ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H Conference Abstracts

Conference	Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 Feb 2026 , Новосибирск
Source	ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы" Compilation, г. Новосибирск.2026. 114 c.
Output data	Year: 2026,
Authors	Ермакова Е.Н. 1 , Косинова М.Л. 1
Affiliations	1 ИНХ СО РАН, просп. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090