ПРОГРАММА И СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ "Кузнецовские чтения-2026. Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы"
Сборник
| Язык |
Русский |
| Тип |
Сборник |
| ISBN |
978-5-90168-857-1 |
| Страниц |
114 |
| Тираж |
100 |
В сборнике представлены тезисы докладов участников «Восьмого семинара по
проблемам химического осаждения из газовой фазы», проведенного в 2026 году в ИНХ СО
РАН, Новосибирск. Семинар проходил в рамках «Кузнецовских чтений», посвященных
памяти и научному наследию российского учёного и организатора науки академика Федора
Андреевича Кузнецова. Представленные доклады охватывают основные направления научноисследовательских работ, проводимых при создании процессов получения функциональных
пленок и покрытий методом химического осаждения из газовой фазы: фундаментальные
основы процессов химического осаждения из газовой фазы, синтез и характеризация новых
летучих соединений – перспективных исходных веществ для процессов CVD, проблемы
формирования пленок и структур методами CVD, ALD, PVD, характеризация пленок и
покрытий и определение областей их применения.