Реферат: Пленки карбонитрида кремния SiCxNy синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой фазы смесей бис(триметилсилил)этиламина и гелия или аммиака. Методами РФЭС и ИК спектроскопии изучена структура химических связей в пленках. Получены данные об основных типах связей, присутствующих в пленках карбонитрида кремния, осажденных при различных условиях синтеза. Показано, что использование аммиака позволяет при низкой температуре синтезировать пленки с одновременным образованием связей Si—C, Si—N и C—N, в то время как основными связями в пленках, полученных из смеси бис(триметилсилил)этиламина и гелия, являются Si—C и Si—N. Химическая структура пленок, полученных при высоких температурах синтеза, близка к SiCx независимо от типа используемого дополнительного газа.

Библиографическая ссылка: Ермакова Е.Н. , Кеслер В.Г. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014. Т.55. №3. С.486-492.

Даты:

Поступила в редакцию:

2 авг. 2013 г.

Идентификаторы БД: Нет идентификаторов

Цитирование в БД: Пока нет цитирований