Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина

Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2014, Volume: 55, Number: 3, Pages: 486-492 Pages count : 7

Tags

карбонитрид кремния, тонкие пленки, PECVD, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ИК-спектроскопия

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Кеслер В.Г. ² , Румянцев Ю.М. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН

Пленки карбонитрида кремния SiCxNy синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой фазы смесей бис(триметилсилил)этиламина и гелия или аммиака. Методами РФЭС и ИК спектроскопии изучена структура химических связей в пленках. Получены данные об основных типах связей, присутствующих в пленках карбонитрида кремния, осажденных при различных условиях синтеза. Показано, что использование аммиака позволяет при низкой температуре синтезировать пленки с одновременным образованием связей Si—C, Si—N и C—N, в то время как основными связями в пленках, полученных из смеси бис(триметилсилил)этиламина и гелия, являются Si—C и Si—N. Химическая структура пленок, полученных при высоких температурах синтеза, близка к SiCx независимо от типа используемого дополнительного газа.

Ермакова Е.Н. , Кеслер В.Г. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014. Т.55. №3. С.486-492.

Submitted:

Aug 2, 2013

No identifiers

Пока нет цитирований