Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) - Доклады на конференциях

Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025»
30 июн. - 4 июл. 2025 , Санкт-Петербург

Авторы

Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025