Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) - Conference attendances

Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025»
30 Jun - 4 Jul 2025 , Санкт-Петербург

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD)
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025