Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака Научная публикация

Журнал	Журнал структурной химии ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные	Год: 2024, Том: 65, Номер: 8, Номер статьи : 130382, Страниц : DOI: 10.26902/jsc_id130382
Авторы	Ермакова Е.Н. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Федоренко А.Д. 1 , Шаповалова А.А. 1 , Хижняк Е.А. 1 , Косинова М.Л. 1
Организации	1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН