Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака Научная публикация
Журнал |
Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463 |
||
---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2024, Том: 65, Номер: 8, Номер статьи : 130382, Страниц : DOI: 10.26902/jsc_id130382 | ||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Федоренко А.Д.
, Шаповалова А.А.
, Хижняк Е.А.
, Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
Даты:
Опубликована в печати: | 31 авг. 2024 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ: | 68639246 |
OpenAlex: | W4394697685 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований