Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia Научная публикация
| Журнал |
Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766 |
||
|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2024, Том: 65, Номер: 8, Страницы: 1488-1501 Страниц : 14 DOI: 10.1134/s002247662408002x | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Ermakova E.N.
, Maksimovsky E.A.
, Fedorenko A.D.
, Shapovalova A.A.
, Khizhnyak E.A.
, Kosinova M.L.
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N8. P.1488-1501. DOI: 10.1134/s002247662408002x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N8. P.1488-1501. DOI: 10.1134/s002247662408002x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Оригинальная:
Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Федоренко А.Д.
, Шаповалова А.А.
, Хижняк Е.А.
, Косинова М.Л.
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №8. 130382 . DOI: 10.26902/jsc_id130382 РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Опубликована в печати: | 4 сент. 2024 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:001306474000013 |
| Scopus: | 2-s2.0-85203069635 |
| РИНЦ: | 69094861 |
| OpenAlex: | W4402238489 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований