Синтез и исследование пленок SiBCN, полученных в процессе плазмохимического осаждения из триэтиламинборана, гексаметидисилазана и аммиака Full article

Journal	Журнал структурной химии ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Output data	Year: 2024, Volume: 65, Number: 8, Article number : 130382, Pages count : DOI: 10.26902/jsc_id130382
Authors	Ермакова Е.Н. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Федоренко А.Д. 1 , Шаповалова А.А. 1 , Хижняк Е.А. 1 , Косинова М.Л. 1
Affiliations	1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН