Organosilicon compounds as single-source precursors for SiCN films production

Журнал

Journal of Organometallic Chemistry
ISSN: 1872-8561 , E-ISSN: 0022-328X

Вых. Данные

Год: 2022, Том: 958, Номер статьи : 122183, Страниц : 28 DOI: 10.1016/j.jorganchem.2021.122183

Авторы

Ermakova Е. ¹ , Kosinova M. ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, 3, Acad. Lavrentiev Ave., Novosibirsk, 630090, Russia

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

121031700314-5

Ermakova Е. , Kosinova M.
Organosilicon compounds as single-source precursors for SiCN films production
Journal of Organometallic Chemistry. 2022. V.958. 122183 :1-28. DOI: 10.1016/j.jorganchem.2021.122183 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	8 сент. 2021 г.
Опубликована в печати:	15 янв. 2022 г.