ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H - Доклады на конференциях

ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 февр. 2026 , Новосибирск

Авторы

Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026