ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H - Conference attendances

ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 Feb 2026 , Новосибирск

Authors

Ермакова Е.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
ВЛИЯНИЕ СТРОЕНИЯ ПРЕКУРСОРА НА СОСТАВ, СТРОЕНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА PECVD ПЛЕНОК СИСТЕМЫ Si–C–N–O–H
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026