Articles - Sciact

Articles (95)

#	Публикация
1	Ermakova E. , Plehanov A. , Saraev A. , Gerasimov E. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Kosinova M. Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study Vacuum. 2026. V.247. 115106 :1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106 WOS Scopus OpenAlex
2	Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Sulyaeva V. , Gerasimov E. , Kosinova M. Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity Thin Solid Films. 2026. V.836. 140871 :1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871 WOS OpenAlex
3	Evgeny Khizhnyak , Vladimir Shayapov , Irina Yushina , Mikhail Lebedev Optical Properties of Hf-Ti-O Films Obtained by Atomic Layer Deposition In compilation 2025 IEEE 26th International Con-ference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM) 27 июня - 1 июля 2025. – IEEE Xplore., 2025. DOI: 10.1109/EDM65517.2025.11096808
4	Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S. EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS Scopus OpenAlex
5	Shayapov V.R. , Bogoslovtseva A.L. , Chepkasov S.Y. , Kapishnikov A.V. , Mironova M.I. , Geydt P.V. Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters Solid State Communications. 2025. V.397. 115821 :1-8. DOI: 10.1016/j.ssc.2024.115821 WOS Scopus OpenAlex
6	Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л. АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150 OpenAlex
7	Ermakova E.N. , Plekhanov A.G. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovsky E.A. , Petukhova D.E. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Kirienko V.V. , Khomyakov M.N. , Kosinova M.L. Amorphous Dielectric SiCNH Films Prepared by PECVD Method from Hexamethyldisilazane Vapors Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N11. P.2292-2308. DOI: 10.1134/s0022476625110046 WOS Scopus OpenAlex
8	Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С. ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex
9	Шенцева И.А. , Тагильцев К.А. , Усольцев А.Н. , Коробейников Н.А. , Шаяпов В.Р. , Соколов М.Н. , Адонин С.А. БИ- И ОКТАЯДЕРНЫЕ ИОДОАНТИМОНАТЫ(III) С 1,2-ДИМЕТИЛПИРИДИНИЕМ И 3-БРОМ-1-ЭТИЛПИРИДИНИЕМ: КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА Журнал неорганической химии. 2024. Т.69. №8. С.1128-1134. DOI: 10.31857/S0044457X24080053 РИНЦ OpenAlex
10	Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Юшина И.В. , Косинова М.Л. Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда Химия высоких энергий. 2024. Т.58. №6. С.500-507. DOI: 10.31857/S0023119324060112 РИНЦ
11	Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Yushina I.V. , Maksimovskiy E.A. , Dudkina S.P. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Mogilnikov K.P. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L. SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
12	Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Юшина И.В. , Максимовский Е.А. , Дудкина С.П. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Могильников К.П. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л. АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №10. 134149 . DOI: 10.26902/jsc_id134149 РИНЦ OpenAlex
13	Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Maksimovskii E.A. , Yushina I.V. , Kosinova M.L. Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma High Energy Chemistry. 2024. V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
14	Shentseva I.A. , Tagiltsev K.A. , Usoltsev A.N. , Korobeynikov N.A. , Shayapov V.R. , Sokolov M.N. , Adonin S.A. Di- and Octanuclear 1,2-Dimethylpyridinium and 3-Bromo-1-Ethylpyridinium Iodoantimonates(III): Crystal Structure and Physicochemical Properties Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024. V.69. P.1158–1164. DOI: 10.1134/S0036023624601156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
15	Ermakova E. , Tsyrendorzhieva I. , Mareev A. , Pavlov D. , Maslova O. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Yushina I. , Kosinova M. Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor ChemPlusChem. 2024. V.89. e202400094 :1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
16	Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Khomyakov M. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Gerasimov E. , Kosinova M. Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia Surface & Coatings Technology. 2024. V.490. 131131 :1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
17	Суляева В.С. , Шаяпов В.Р. , Сыроквашин М.М. , Кожевников А.К. , Косинова М.Л. Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №12. 121572 :1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572 РИНЦ OpenAlex
18	Ermakova E. , Kolodin A. , Fedorenko A. , Yushina I. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Kosinova M. Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture Coatings. 2023. V.13. N2. 310 :1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310 WOS Scopus OpenAlex
19	Sulyaeva V.S. , Shayapov V.R. , Syrokvashin M.M. , Kozhevnikov A.K. , Kosinova M.L. Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
20	Belaya S.V. , Maksimovsky E.A. , Shayapov V.R. , Shapovalova A.A. , Kolodin A.N. , Saraev A.A. , Asanov I.P. , Khomyakov M.N. , Yushina I.V. , Plekhanov A.G. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L. Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization Applied sciences. 2023. V.13. N8. 4959 :1-27. DOI: 10.3390/app13084959 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

« Previous
1
2
3
4
5
Next »

1 / 5 - Total 95 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Order

Columns

Per page

Reset