СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ

СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ Full article

Journal

Журнал органической химии
ISSN: 0514-7492

Output data

Year: 2026, Volume: 62, Number: 5, Pages: 711–719 Pages count : DOI: 10.7868/S3034630426050082

Authors

Ermakova Evgeniya Nikolaevna ¹ , Sysoev Sergei Viktorovich ¹ , Цырендоржиева И.П. ² , Мареев А.В. ^2,3 , Fedorenko Anastasiya Dmitrievna ¹ , Shayapov Vladimir Ravilʹevich ¹ , Kosinova Marina Leonidovna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
2	Иркутский институт химии им. А.Е. Фаворского СО РАН
3	Иркутский государственный университет

Funding (1)

Ермакова Е.Н. , Сысоев С.В. , Цырендоржиева И.П. , Мареев А.В. , Федоренко А.Д. , Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л.
СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ
Журнал органической химии. 2026. Т.62. №5. С.711–719. DOI: 10.7868/S3034630426050082

Ermakova E.N. , Sysoev S.V. , Tsyrendorzhieva I.P. , Mareev A.V. , Fedorenko A.D. , Shayapov V.R. , Kosinova M.L.
Synthesis of Tris(allylamino)ethylsilane, Tetrakis(allylamino)silane, and Silicon Carbonitride Films Based Thereon by Gas-Phase Processes
Russian Journal of Organic Chemistry. 2026. V.62. N6. 126 :1-8. DOI: 10.1134/s1070428026600841 WOS Scopus

Submitted:	Feb 25, 2026
Published print:	May 29, 2026

No identifiers