SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors

SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors Full article

Journal

Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766

Output data

Year: 2024, Volume: 65, Number: 10, Pages: 2041-2057 Pages count : 17 DOI: 10.1134/s0022476624100147

Authors

Chagin M.N. ¹ , Ermakova E.N. ¹ , Shayapov V.R. ¹ , Sulyaeva V.S. ¹ , Yushina I.V. ¹ , Maksimovskiy E.A. ¹ , Dudkina S.P. ¹ , Saraev A.A. ² , Gerasimov E.Y. ² , Mogilnikov K.P. ³ , Kolodin A.N. ¹ , Kosinova M.L. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Boreskov Institute of Catalysis, SB RAS, Novosibirsk
3	Institute of Semiconductor Physics SB RAS

Chagin M.N. , Ermakova E.N. , Shayapov V.R. , Sulyaeva V.S. , Yushina I.V. , Maksimovskiy E.A. , Dudkina S.P. , Saraev A.A. , Gerasimov E.Y. , Mogilnikov K.P. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2024. V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147

Чагин М.Н. , Ермакова Е.Н. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Юшина И.В. , Максимовский Е.А. , Дудкина С.П. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Могильников К.П. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА
Журнал структурной химии. 2024. Т.65. №10. 134149 . DOI: 10.26902/jsc_id134149 РИНЦ OpenAlex

Published print:

Oct 31, 2024

No identifiers

Пока нет цитирований