|
1
|
Ermakova E.N.
, Kosinova M.L.
Synthesis of SiCNO:H Dielectric Layers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Using a Novel Organosilicon Precursor
High Energy Chemistry. 2026.
V.60. N1. P.129-133. DOI: 10.1134/s0018143925601149
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
2
|
Chagin M.N.
, Sulyaeva V.S.
, Ermakova E.N.
, Maksimovskiy E.A.
, Asanov I.P.
, Kolodin A.N.
, Yushina I.V.
, Tu R.
, Kosinova M.L.
Chemical Structure and Stability of Amorphous SiCxNy:H Films Prepared by ICP CVD Using Disilazanes
Journal of Structural Chemistry. 2026.
V.67. N2. P.426-441. DOI: 10.1134/s0022476626020174
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
3
|
Чагин М.Н.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Асанов И.П.
, Колодин А.Н.
, Юшина И.В.
, Tu R.
, Косинова М.Л.
Химическая структура и стабильность аморфных пленок SiCxNy:H, полученных методом ICP CVD с использованием дисилазанов
Журнал структурной химии. 2026.
Т.67. №2. 161463
. DOI: 10.26902/JSC_id161463
OpenAlex
|
|
4
|
Wu L.
, Belaya S.V.
, Li L.
, Maksimovskiy E.A.
, Kolodin A.N.
, Asanov I.P.
, Plekhanov A.G.
, Korolkov I.V.
, Zhang H.
, Kosinova M.L.
, An B.
Interfacial Engineering of Boron Carbonitride via Tuning Layers for Enhanced Solar Water Oxidation
Carbon. 2026.
V.246. 120926
:1-10. DOI: 10.1016/j.carbon.2025.120926
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
5
|
Ermakova E.
, Plehanov A.
, Saraev A.
, Gerasimov E.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Kosinova M.
Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study
Vacuum. 2026.
V.247. 115106
:1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
6
|
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Sulyaeva V.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity
Thin Solid Films. 2026.
V.836. 140871
:1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
7
|
Shestakov V.A.
, Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase-Formation Conditions in the Si–O–C–H–He and Si–O–C–H–N–He Systems
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025.
V.70. N4. P.567-572. DOI: 10.1134/s003602362560039x
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
8
|
Tu R.
, Liang X.
, Xu Q.
, Ji B.
, Li Q.
, Zhang C.
, Kosinova M.L.
, Zhang S.
, Goto T.
Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings
Journal of Vacuum Science & Technology A. 2025.
V.43. N6. 063410
. DOI: 10.1116/6.0004837
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
9
|
Ермакова Е.Н.
, Плеханов А.Г.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Петухова Д.Е.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Кириенко В.В.
, Хомяков М.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №11. 155150
. DOI: 10.26902/JSC_id155150
OpenAlex
|
|
10
|
Kapoguzov K.E.
, Mutilin S.V.
, Belaya S.V.
, Kichay V.N.
, Yakovkina L.V.
, Korolkov I.V.
, Saraev A.A.
, Kosinova M.L.
Stable resistive switching in VO2 films synthesized on mazy-like h-BCN nanowalls/Si(1 0 0) substrates
Materials Science And Engineering: B. 2025.
V.321. 118511
:1-9. DOI: 10.1016/j.mseb.2025.118511
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
11
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМАХ SI-О-C-H-HЕ И SI-О-C-H-N-HЕ
Журнал неорганической химии. 2025.
Т.70. №4. С.560-565. DOI: 10.31857/S0044457X25040092
РИНЦ
|
|
12
|
Суляева В.С.
, Шибата К.
, Сато Ф.
, Тераучи M.
, Васильева И.Г.
, Косинова М.Л.
Наноструктурное и химическое устройство тонких градиентных пленок BCN
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №10. 152931
:1-12. DOI: 10.26902/jsc_id152931
OpenAlex
|
|
13
|
Sulyaeva V.S.
, Shibata K.
, Sato F.
, Terauchi M.
, Vasilyeva I.G.
, Kosinova M.L.
Nanostructural and Chemical Arrangement of BCN Gradient Thin Films
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N10. P.2009-2020. DOI: 10.1134/s0022476625100014
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
14
|
Ermakova E.N.
, Plekhanov A.G.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Maksimovsky E.A.
, Petukhova D.E.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Kirienko V.V.
, Khomyakov M.N.
, Kosinova M.L.
Amorphous Dielectric SiCNH Films Prepared by PECVD Method from Hexamethyldisilazane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N11. P.2292-2308. DOI: 10.1134/s0022476625110046
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
15
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
Термодинамическое моделирование процесса осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы
Журнал физической химии. 2024.
Т.98. №9. С.135–139. DOI: 10.31857/S0044453724090182
РИНЦ
|
|
16
|
Li C.
, Xu Q.
, Zhu J.
, Luo T.
, Yang M.
, Dai H.
, Kosinova M.L.
, Zhang S.
, Tu R.
Laser chemical vapor deposition of nitrogen-doped SiC electrode for electrochemical detection of uric acid
Surfaces and Interfaces. 2024.
V.51. 104704
:1-10. DOI: 10.1016/j.surfin.2024.104704
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
17
|
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
Химия высоких энергий. 2024.
Т.58. №6. С.500-507. DOI: 10.31857/S0023119324060112
РИНЦ
|
|
18
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА CVD
В СИСТЕМЕ Ni–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2024.
Т.69. №1. С.43-48. DOI: 10.31857/S0044457X24010059
РИНЦ
OpenAlex
|
|
19
|
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Yushina I.V.
, Maksimovskiy E.A.
, Dudkina S.P.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Mogilnikov K.P.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2024.
V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
20
|
Ermakova E.N.
, Maksimovsky E.A.
, Fedorenko A.D.
, Shapovalova A.A.
, Khizhnyak E.A.
, Kosinova M.L.
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
Journal of Structural Chemistry. 2024.
V.65. N8. P.1488-1501. DOI: 10.1134/s002247662408002x
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|