Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Sections:

  • Articles
  • Books
  • Conference attendances
  • Conference theses
  • Patents

Articles (98)

# Публикация
1 Ermakova E.N. , Kosinova M.L.
Synthesis of SiCNO:H Dielectric Layers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Using a Novel Organosilicon Precursor
High Energy Chemistry. 2026. V.60. N1. P.129-133. DOI: 10.1134/s0018143925601149 WOS Scopus OpenAlex
2 Chagin M.N. , Sulyaeva V.S. , Ermakova E.N. , Maksimovskiy E.A. , Asanov I.P. , Kolodin A.N. , Yushina I.V. , Tu R. , Kosinova M.L.
Chemical Structure and Stability of Amorphous SiCxNy:H Films Prepared by ICP CVD Using Disilazanes
Journal of Structural Chemistry. 2026. V.67. N2. P.426-441. DOI: 10.1134/s0022476626020174 WOS Scopus OpenAlex
3 Чагин М.Н. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Асанов И.П. , Колодин А.Н. , Юшина И.В. , Tu R. , Косинова М.Л.
Химическая структура и стабильность аморфных пленок SiCxNy:H, полученных методом ICP CVD с использованием дисилазанов
Журнал структурной химии. 2026. Т.67. №2. 161463 . DOI: 10.26902/JSC_id161463 OpenAlex
4 Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
ПОЛУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ PECVD СЛОЕВ SICNO:H ИЗ НОВОГО КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕДШЕСТВЕННИКА
Химия высоких энергий. 2026. Т.60. №1. С.106-111. DOI: 10.7868/S3034608826010143
5 Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase Formation in the Co–Si–C–H System
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2026. V.71. N3. P.371–374. DOI: 10.1134/S0036023626600292 WOS Scopus OpenAlex
6 Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2026. Т.71. №3. С.404-409. DOI: 10.7868/S3034560X26030061 РИНЦ
7 Wu L. , Belaya S.V. , Li L. , Maksimovskiy E.A. , Kolodin A.N. , Asanov I.P. , Plekhanov A.G. , Korolkov I.V. , Zhang H. , Kosinova M.L. , An B.
Interfacial Engineering of Boron Carbonitride via Tuning Layers for Enhanced Solar Water Oxidation
Carbon. 2026. V.246. 120926 :1-10. DOI: 10.1016/j.carbon.2025.120926 WOS Scopus OpenAlex
8 Ermakova E. , Plehanov A. , Saraev A. , Gerasimov E. , Shayapov V. , Maksimovskiy E. , Sulyaeva V. , Kolodin A. , Kosinova M.
Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study
Vacuum. 2026. V.247. 115106 :1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106 WOS Scopus OpenAlex
9 Ermakova E. , Shayapov V. , Saraev A. , Maximovsky E. , Kirienko V. , Sulyaeva V. , Gerasimov E. , Kosinova M.
Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity
Thin Solid Films. 2026. V.836. 140871 :1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871 WOS Scopus OpenAlex
10 Sulyaeva V.S. , Kozhevnikov A.K. , Syrokvashin M.M. , Kolodin A.N. , Korolkov I.V. , Gerasimov E.Y. , Saraev A.A. , Kosinova M.L.
Nanostructure control and electron transport in cobalt thin films for nanoscale interconnects
Physica B-condensed Matter. 2026. V.741. 419201 :1-15. DOI: 10.1016/j.physb.2026.419201 WOS Scopus
11 Ermakova E.N. , Sysoev S.V. , Tsyrendorzhieva I.P. , Mareev A.V. , Fedorenko A.D. , Shayapov V.R. , Kosinova M.L.
Synthesis of Tris(allylamino)ethylsilane, Tetrakis(allylamino)silane, and Silicon Carbonitride Films Based Thereon by Gas-Phase Processes
Russian Journal of Organic Chemistry. 2026. V.62. N6. 126 :1-8. DOI: 10.1134/s1070428026600841 WOS Scopus
12 Ермакова Е.Н. , Сысоев С.В. , Цырендоржиева И.П. , Мареев А.В. , Федоренко А.Д. , Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л.
СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ
Журнал органической химии. 2026. Т.62. №5. С.711–719. DOI: 10.7868/S3034630426050082
13 Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–О–C–H–Hе
Журнал неорганической химии. 2026. Т.71. №7. С.1071-1076. DOI: 10.7868/S3034560X26070125
14 Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase-Formation Conditions in the Si–O–C–H–He and Si–O–C–H–N–He Systems
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N4. P.567-572. DOI: 10.1134/s003602362560039x WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
15 Tu R. , Liang X. , Xu Q. , Ji B. , Li Q. , Zhang C. , Kosinova M.L. , Zhang S. , Goto T.
Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings
Journal of Vacuum Science & Technology A. 2025. V.43. N6. 063410 . DOI: 10.1116/6.0004837 WOS Scopus OpenAlex
16 Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Петухова Д.Е. , Сараев А.А. , Герасимов Е.Ю. , Кириенко В.В. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №11. 155150 . DOI: 10.26902/JSC_id155150 OpenAlex
17 Kapoguzov K.E. , Mutilin S.V. , Belaya S.V. , Kichay V.N. , Yakovkina L.V. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Kosinova M.L.
Stable resistive switching in VO2 films synthesized on mazy-like h-BCN nanowalls/Si(1 0 0) substrates
Materials Science And Engineering: B. 2025. V.321. 118511 :1-9. DOI: 10.1016/j.mseb.2025.118511 WOS Scopus OpenAlex
18 Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМАХ SI-О-C-H-HЕ И SI-О-C-H-N-HЕ
Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №4. С.560-565. DOI: 10.31857/S0044457X25040092 РИНЦ
19 Суляева В.С. , Шибата К. , Сато Ф. , Тераучи M. , Васильева И.Г. , Косинова М.Л.
Наноструктурное и химическое устройство тонких градиентных пленок BCN
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №10. 152931 :1-12. DOI: 10.26902/jsc_id152931 OpenAlex
20 Sulyaeva V.S. , Shibata K. , Sato F. , Terauchi M. , Vasilyeva I.G. , Kosinova M.L.
Nanostructural and Chemical Arrangement of BCN Gradient Thin Films
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N10. P.2009-2020. DOI: 10.1134/s0022476625100014 WOS Scopus OpenAlex

  • « Previous
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • Next  »
1   /  5   -  Total 98 records

Filter

Order

Field Direction

Columns

Reset