|
1
|
Ermakova E.N.
, Kosinova M.L.
Synthesis of SiCNO:H Dielectric Layers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Using a Novel Organosilicon Precursor
High Energy Chemistry. 2026.
V.60. N1. P.129-133. DOI: 10.1134/s0018143925601149
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
2
|
Chagin M.N.
, Sulyaeva V.S.
, Ermakova E.N.
, Maksimovskiy E.A.
, Asanov I.P.
, Kolodin A.N.
, Yushina I.V.
, Tu R.
, Kosinova M.L.
Chemical Structure and Stability of Amorphous SiCxNy:H Films Prepared by ICP CVD Using Disilazanes
Journal of Structural Chemistry. 2026.
V.67. N2. P.426-441. DOI: 10.1134/s0022476626020174
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
3
|
Чагин М.Н.
, Суляева В.С.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Асанов И.П.
, Колодин А.Н.
, Юшина И.В.
, Tu R.
, Косинова М.Л.
Химическая структура и стабильность аморфных пленок SiCxNy:H, полученных методом ICP CVD с использованием дисилазанов
Журнал структурной химии. 2026.
Т.67. №2. 161463
. DOI: 10.26902/JSC_id161463
OpenAlex
|
|
4
|
Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
ПОЛУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ PECVD СЛОЕВ SICNO:H ИЗ НОВОГО КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕДШЕСТВЕННИКА
Химия высоких энергий. 2026.
Т.60. №1. С.106-111. DOI: 10.7868/S3034608826010143
|
|
5
|
Shestakov V.A.
, Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase Formation in the Co–Si–C–H System
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2026.
V.71. N3. P.371–374. DOI: 10.1134/S0036023626600292
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
6
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2026.
Т.71. №3. С.404-409. DOI: 10.7868/S3034560X26030061
РИНЦ
|
|
7
|
Wu L.
, Belaya S.V.
, Li L.
, Maksimovskiy E.A.
, Kolodin A.N.
, Asanov I.P.
, Plekhanov A.G.
, Korolkov I.V.
, Zhang H.
, Kosinova M.L.
, An B.
Interfacial Engineering of Boron Carbonitride via Tuning Layers for Enhanced Solar Water Oxidation
Carbon. 2026.
V.246. 120926
:1-10. DOI: 10.1016/j.carbon.2025.120926
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
8
|
Ermakova E.
, Plehanov A.
, Saraev A.
, Gerasimov E.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Kosinova M.
Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study
Vacuum. 2026.
V.247. 115106
:1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
9
|
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Sulyaeva V.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity
Thin Solid Films. 2026.
V.836. 140871
:1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
10
|
Sulyaeva V.S.
, Kozhevnikov A.K.
, Syrokvashin M.M.
, Kolodin A.N.
, Korolkov I.V.
, Gerasimov E.Y.
, Saraev A.A.
, Kosinova M.L.
Nanostructure control and electron transport in cobalt thin films for nanoscale interconnects
Physica B-condensed Matter. 2026.
V.741. 419201
:1-15. DOI: 10.1016/j.physb.2026.419201
WOS
Scopus
|
|
11
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Mareev A.V.
, Fedorenko A.D.
, Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
Synthesis of Tris(allylamino)ethylsilane, Tetrakis(allylamino)silane, and Silicon Carbonitride Films Based Thereon by Gas-Phase Processes
Russian Journal of Organic Chemistry. 2026.
V.62. N6. 126
:1-8. DOI: 10.1134/s1070428026600841
WOS
Scopus
|
|
12
|
Ермакова Е.Н.
, Сысоев С.В.
, Цырендоржиева И.П.
, Мареев А.В.
, Федоренко А.Д.
, Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ
Журнал органической химии. 2026.
Т.62. №5. С.711–719. DOI: 10.7868/S3034630426050082
|
|
13
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ
В СИСТЕМЕ Co–О–C–H–Hе
Журнал неорганической химии. 2026.
Т.71. №7. С.1071-1076. DOI: 10.7868/S3034560X26070125
|
|
14
|
Shestakov V.A.
, Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of Phase-Formation Conditions in the Si–O–C–H–He and Si–O–C–H–N–He Systems
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025.
V.70. N4. P.567-572. DOI: 10.1134/s003602362560039x
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
15
|
Tu R.
, Liang X.
, Xu Q.
, Ji B.
, Li Q.
, Zhang C.
, Kosinova M.L.
, Zhang S.
, Goto T.
Computational fluid dynamics simulation of dual-showerhead configuration: Key to uniform large-scale chemical vapor deposition SiC coatings
Journal of Vacuum Science & Technology A. 2025.
V.43. N6. 063410
. DOI: 10.1116/6.0004837
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
16
|
Ермакова Е.Н.
, Плеханов А.Г.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Петухова Д.Е.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Кириенко В.В.
, Хомяков М.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №11. 155150
. DOI: 10.26902/JSC_id155150
OpenAlex
|
|
17
|
Kapoguzov K.E.
, Mutilin S.V.
, Belaya S.V.
, Kichay V.N.
, Yakovkina L.V.
, Korolkov I.V.
, Saraev A.A.
, Kosinova M.L.
Stable resistive switching in VO2 films synthesized on mazy-like h-BCN nanowalls/Si(1 0 0) substrates
Materials Science And Engineering: B. 2025.
V.321. 118511
:1-9. DOI: 10.1016/j.mseb.2025.118511
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
18
|
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМАХ SI-О-C-H-HЕ И SI-О-C-H-N-HЕ
Журнал неорганической химии. 2025.
Т.70. №4. С.560-565. DOI: 10.31857/S0044457X25040092
РИНЦ
|
|
19
|
Суляева В.С.
, Шибата К.
, Сато Ф.
, Тераучи M.
, Васильева И.Г.
, Косинова М.Л.
Наноструктурное и химическое устройство тонких градиентных пленок BCN
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №10. 152931
:1-12. DOI: 10.26902/jsc_id152931
OpenAlex
|
|
20
|
Sulyaeva V.S.
, Shibata K.
, Sato F.
, Terauchi M.
, Vasilyeva I.G.
, Kosinova M.L.
Nanostructural and Chemical Arrangement of BCN Gradient Thin Films
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N10. P.2009-2020. DOI: 10.1134/s0022476625100014
WOS
Scopus
OpenAlex
|