ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–О–C–H–Hе Full article
| Journal |
Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X |
||||
|---|---|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2026, Volume: 71, Number: 7, Pages: 1071-1076 Pages count : 6 DOI: 10.7868/S3034560X26070125 | ||||
| Tags | химическое осаждение из газовой фазы, кобальтсодержащие покрытия, ацетилацетонат кобальта, оксид кобальта | ||||
| Authors |
|
||||
| Affiliations |
|
Funding (1)
| 1 | Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation | 121031700321-3 |
Abstract:
На основе термодинамического подхода исследовано разложение ацетилацетоната
кобальта в смеси с кислородом с целью построения CVD-диаграмм. При расчете использована
база данных и программное обеспечение Банка данных о свойствах материалов электронной техники. Предполагалось, что процесс протекает в квазиравновесном режиме на химически инертной подложке в интервале температур реактора 473–1073 K при давлении 1.333 или 101325 Па.
Из расчетов следует, что в процессах МОCVD могут быть получены пленки, содержащие в зависимости от условий кобальт, оксиды кобальта CoO и Co3O4, а также различные комплексы этих
фаз, в том числе в смеси с углеродом. Результаты работы могут быть полезны при получении кобальтсодержащих покрытий.
Cite:
Шестаков В.А.
, Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–О–C–H–Hе
Журнал неорганической химии. 2026. Т.71. №7. С.1071-1076. DOI: 10.7868/S3034560X26070125
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМЕ Co–О–C–H–Hе
Журнал неорганической химии. 2026. Т.71. №7. С.1071-1076. DOI: 10.7868/S3034560X26070125
Dates:
| Submitted: | Mar 11, 2026 |
| Published print: | Jul 31, 2026 |
Identifiers:
No identifiers