ПОЛУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ PECVD СЛОЕВ SICNO:H ИЗ НОВОГО КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕДШЕСТВЕННИКА

ПОЛУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ PECVD СЛОЕВ SICNO:H ИЗ НОВОГО КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕДШЕСТВЕННИКА Full article

Journal

Химия высоких энергий
ISSN: 0023-1193

Output data

Year: 2026, Volume: 60, Number: 1, Pages: 106-111 Pages count : 6 DOI: 10.7868/S3034608826010143

Authors

Ermakova Evgeniya Nikolaevna ¹ , Kosinova Marina Leonidovna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Funding (1)

Russian Science Foundation

Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л.
ПОЛУЧЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ PECVD СЛОЕВ SICNO:H ИЗ НОВОГО КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКОГО ПРЕДШЕСТВЕННИКА
Химия высоких энергий. 2026. Т.60. №1. С.106-111. DOI: 10.7868/S3034608826010143

Ermakova E.N. , Kosinova M.L.
Synthesis of SiCNO:H Dielectric Layers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Using a Novel Organosilicon Precursor
High Energy Chemistry. 2026. V.60. N1. P.129-133. DOI: 10.1134/s0018143925601149 WOS Scopus OpenAlex

Submitted:	Aug 26, 2025
Published print:	Jan 30, 2026

No identifiers