Articles - Sciact

Articles (25)

#	Публикация
21	Ermakova E. , Rumyantsev Y. , Shugarov A. , Panin A. , Kosinova M. PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films Applied Surface Science. 2015. V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
22	Ermakova E.N. , Sysoev S.V. , Nikulina L.D. , Tsyrendorzhieva I.P. , Rakhlin V.I. , Kosinova M.L. Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes Thermochimica Acta. 2015. V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
23	Ермакова Е.Н. , Кеслер В.Г. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л. Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина Журнал структурной химии. 2014. Т.55. №3. С.486-492.
24	Ermakova E. , Lis A. , Kosinova M. , Rumyantsev Y. , Maximovskii E. , Rakhlin V. Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor Physics Procedia. 2013. V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
25	Сысоев С.В. , Никулина Л.Д. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. , Рахлин В.И. , Цырендоржиева И.П. , Лис А.В. , Воронков М.Г. Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ Неорганические материалы. 2013. Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179 РИНЦ OpenAlex

« Previous
1
2
Next »

2 / 2 - Total 25 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Tags

Genre

Source type

Journal

Language

Author

Open access

Order

Columns

Per page

Reset