|
21
|
Ермакова Е.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Рахлин В.И.
, Косинова М.Л.
Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана
Химия высоких энергий. 2016.
Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098
РИНЦ
OpenAlex
|
|
22
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikolaev R.E.
, Nikulina L.D.
, Lis A.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Plyusnin P.E.
, Kosinova M.L.
Thermal properties of some organosilicon precursors for chemical vapor deposition
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. 2016.
V.126. P.609-616. DOI: 10.1007/s10973-016-5563-y
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
23
|
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015.
Т.51. №11. 1183–1189
:1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115
РИНЦ
OpenAlex
|
|
24
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
25
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikulina L.D.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Kosinova M.L.
Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes
Thermochimica Acta. 2015.
V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
26
|
Ermakova E.
, Rumyantsev Y.
, Shugarov A.
, Panin A.
, Kosinova M.
PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films
Applied Surface Science. 2015.
V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
27
|
Ермакова Е.Н.
, Кеслер В.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014.
Т.55. №3. С.486-492.
|
|
28
|
Сысоев С.В.
, Никулина Л.Д.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
, Рахлин В.И.
, Цырендоржиева И.П.
, Лис А.В.
, Воронков М.Г.
Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179
РИНЦ
OpenAlex
|
|
29
|
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013.
V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|