|
21
|
Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
CVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК ГРАФИТОПОДОБНОГО НИТРИДА УГЛЕРОДА ИЗ МЕЛАМИНА
Журнал неорганической химии. 2023.
Т.68. №2. С.256-264. DOI: 10.31857/S0044457X22601547
РИНЦ
OpenAlex
|
|
22
|
Ermakova E.
, Kolodin A.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture
Coatings. 2023.
V.13. N2. 310
:1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
23
|
Ermakova E.
, Sysoev S.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Coatings. 2023.
V.13. N6. 1045
:1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
24
|
Ermakova E.N.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
CVD Synthesis of Graphitic Carbon Nitride Films from Melamine
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023.
V.68. N2. P.208-215. DOI: 10.1134/s0036023622602252
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
25
|
Ermakova Е.
, Kosinova M.
Organosilicon compounds as single-source precursors for SiCN films production
Journal of Organometallic Chemistry. 2022.
V.958. 122183
:1-28. DOI: 10.1016/j.jorganchem.2021.122183
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
26
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Asanov I.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Kichay V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Chemical Structure, Optical and Dielectric Properties of PECVD SiCN Films Obtained from Novel Precursor
Coatings. 2022.
V.12. N11. 1767
:1-17. DOI: 10.3390/coatings12111767
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
27
|
Ермакова Е.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Рахлин В.И.
, Косинова М.Л.
Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана
Химия высоких энергий. 2016.
Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098
РИНЦ
OpenAlex
|
|
28
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikolaev R.E.
, Nikulina L.D.
, Lis A.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Plyusnin P.E.
, Kosinova M.L.
Thermal properties of some organosilicon precursors for chemical vapor deposition
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. 2016.
V.126. P.609-616. DOI: 10.1007/s10973-016-5563-y
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
29
|
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015.
Т.51. №11. 1183–1189
:1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115
РИНЦ
OpenAlex
|
|
30
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
31
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikulina L.D.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Kosinova M.L.
Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes
Thermochimica Acta. 2015.
V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
32
|
Ermakova E.
, Rumyantsev Y.
, Shugarov A.
, Panin A.
, Kosinova M.
PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films
Applied Surface Science. 2015.
V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
33
|
Ермакова Е.Н.
, Кеслер В.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014.
Т.55. №3. С.486-492.
|
|
34
|
Сысоев С.В.
, Никулина Л.Д.
, Ермакова Е.Н.
, Косинова М.Л.
, Рахлин В.И.
, Цырендоржиева И.П.
, Лис А.В.
, Воронков М.Г.
Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179
РИНЦ
OpenAlex
|
|
35
|
Ermakova E.
, Lis A.
, Kosinova M.
, Rumyantsev Y.
, Maximovskii E.
, Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013.
V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|