Abstract: Разработана CVD-методика осаждения однородных пленок графитоподобного нитрида углерода на подложках из кремния и кварцевого стекла с использованием меламина в качестве прекурсора. Послойное нанесение при малых загрузках прекурсора позволяет осадить пленку толщиной до 1.4 мкм, однако существует возможность достичь больших величин за счет многократного повторения экспериментального цикла. Методом сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние параметров синтеза на морфологию поверхности осаждаемых слоев. Химический состав и строение пленок графитоподобного нитрида углерода подтверждены набором спектроскопических методов и рентгеновской дифракцией. Оптические свойства исследованы с применением спектроскопии диффузного отражения. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что пленки, осажденные при температурах 550–650°C, обладают слоистой микрокристаллической структурой. Ширина запрещенной зоны полученных образцов составила 2.76–2.93 эВ.

Cite: Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Юшина И.В. , Косинова М.Л.
CVD-СИНТЕЗ ПЛЕНОК ГРАФИТОПОДОБНОГО НИТРИДА УГЛЕРОДА ИЗ МЕЛАМИНА
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.256-264. DOI: 10.31857/S0044457X22601547 РИНЦ OpenAlex

Translated: Ermakova E.N. , Maksimovskii E.A. , Yushina I.V. , Kosinova M.L.
CVD Synthesis of Graphitic Carbon Nitride Films from Melamine
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. N2. P.208-215. DOI: 10.1134/s0036023622602252 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Dates:

Submitted:	Aug 26, 2022
Accepted:	Sep 26, 2022
Published print:	Feb 1, 2023

Identifiers:

Elibrary:	50435242
OpenAlex:	W4394814687

Citing:

DB	Citing
Elibrary	3
OpenAlex	1

Altmetrics: