PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА

PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА Full article

Journal

Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X

Output data

Year: 2015, Volume: 51, Number: 11, Article number : 1183–1189, Pages count : 7 DOI: 10.7868/S0002337X15100115

Authors

Меренков И.С. ¹ , Косинова М.Л. ¹ , Ермакова Е.Н. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Румянцев Ю.М. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук

Наностенки из гексагонального нитрида бора получены плазмостимулированным химическим осаждением из газовой фазы (PECVD) с использованием исходной смеси боразина B3N3H6 и аммиака. С изменением температуры синтеза от 100 до 700°C структура пленок эволюционирует от аморфной к нанокристаллической, которая представляет собой трехмерные образования, перпендикулярные подложке, – наностенки. Возможность формирования наностенок следует отнести к условиям синтеза пленок. Установлены зависимости элементного состава и морфологии поверхности пленок от температуры синтеза. С помощью просвечивающей электронной микроскопии определена структура наностенок, показано наличие переходного слоя между пленкой h-BN и подложкой Si(100). Нижний температурный порог формирования наностенок в условиях процесса PECVD составляет 300°C. Пленки обладают высокой прозрачностью в широкой области спектра (350–3200 нм). Совокупность данных параметров позволяет предположить возможность использования изученных наноструктур в микроэлектронике, оптике и катализе.

Меренков И.С. , Косинова М.Л. , Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015. Т.51. №11. 1183–1189 :1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115 РИНЦ OpenAlex

Submitted:

Feb 5, 2015

Elibrary:	24045107
OpenAlex:	W4249989571

DB	Citing
Elibrary	3