|
1
|
Ermakova E.
, Plehanov A.
, Saraev A.
, Gerasimov E.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Kosinova M.
Amorphous SiCxNy:H thin films produced with various nitrogen sources: A comparative study
Vacuum. 2026.
V.247. 115106
:1-14. DOI: 10.1016/j.vacuum.2026.115106
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
2
|
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Sulyaeva V.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Trisylilamine derivative for plasma-assisted fabrication of SiCN:H copper diffusion barrier with reduced value of permittivity
Thin Solid Films. 2026.
V.836. 140871
:1-12. DOI: 10.1016/j.tsf.2026.140871
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
3
|
Богословцева А.Л.
, Шаяпов В.Р.
, Чепкасов С.Ю.
, Миронова М.И.
, Капишников А.В.
, Марин Д.В.
, Гейдт П.В.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ РОСТА ПРИ ИМПУЛЬСНОМ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ НА СТРУКТУРУ И ДЕФЕКТЫ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ
Журнал структурной химии. 2026.
Т.67. №8. 169916
. DOI: 10.26902/jsc_id169916
|
|
4
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Mareev A.V.
, Fedorenko A.D.
, Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
Synthesis of Tris(allylamino)ethylsilane, Tetrakis(allylamino)silane, and Silicon Carbonitride Films Based Thereon by Gas-Phase Processes
Russian Journal of Organic Chemistry. 2026.
V.62. N6. 126
:1-8. DOI: 10.1134/s1070428026600841
WOS
Scopus
|
|
5
|
Ермакова Е.Н.
, Сысоев С.В.
, Цырендоржиева И.П.
, Мареев А.В.
, Федоренко А.Д.
, Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
СИНТЕЗ ТРИ(АЛЛИЛАМИНО)ЭТИЛСИЛАНА, ТЕТРА(АЛЛИЛАМИНО)СИЛАНА И ПЛЕНОК КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ В ГАЗОФАЗНЫХ ПРОЦЕССАХ
Журнал органической химии. 2026.
Т.62. №5. С.711–719. DOI: 10.7868/S3034630426050082
|
|
6
|
KHIZHNYAK E.A.
, SHAYAPOV V.R.
, FEDORENKO A.D.
, KOROLKOV I.V.
, GORYAINOV S.V.
, MAXIMOVSKIY E.A.
, LEBEDEV M.S.
Phase formation in ALD Hf1–xTixO2 and Zr1–xTixO2 films from amorphous to crystalline solid solutions
Bulletin of Materials Science. 2026.
V.49. 173
:1-14. DOI: 10.1007/s12034-026-03653-0
WOS
Scopus
|
|
7
|
Evgeny Khizhnyak
, Vladimir Shayapov
, Irina Yushina
, Mikhail Lebedev
Optical Properties of Hf-Ti-O Films Obtained by Atomic Layer Deposition
В сборнике
2025 IEEE 26th International Con-ference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM) 27 июня - 1 июля 2025.
– IEEE Xplore.,
2025.
DOI: 10.1109/EDM65517.2025.11096808
|
|
8
|
Khizhnyak E.A.
, Shayapov V.R.
, Korolkov I.V.
, Dudkina S.P.
, Geydt P.V.
, Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
9
|
Shayapov V.R.
, Bogoslovtseva A.L.
, Chepkasov S.Y.
, Kapishnikov A.V.
, Mironova M.I.
, Geydt P.V.
Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters
Solid State Communications. 2025.
V.397. 115821
:1-8. DOI: 10.1016/j.ssc.2024.115821
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
10
|
Ермакова Е.Н.
, Плеханов А.Г.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Петухова Д.Е.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Кириенко В.В.
, Хомяков М.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕCКИЕ ПЛЕНКИ SiCNH, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ PECVD ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №11. 155150
. DOI: 10.26902/JSC_id155150
OpenAlex
|
|
11
|
Ermakova E.N.
, Plekhanov A.G.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Maksimovsky E.A.
, Petukhova D.E.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Kirienko V.V.
, Khomyakov M.N.
, Kosinova M.L.
Amorphous Dielectric SiCNH Films Prepared by PECVD Method from Hexamethyldisilazane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N11. P.2292-2308. DOI: 10.1134/s0022476625110046
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
12
|
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Корольков И.В.
, Дудкина С.П.
, Гейдт П.В.
, Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №2. 140578
:1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578
OpenAlex
|
|
13
|
Шенцева И.А.
, Тагильцев К.А.
, Усольцев А.Н.
, Коробейников Н.А.
, Шаяпов В.Р.
, Соколов М.Н.
, Адонин С.А.
БИ- И ОКТАЯДЕРНЫЕ ИОДОАНТИМОНАТЫ(III) С 1,2-ДИМЕТИЛПИРИДИНИЕМ И 3-БРОМ-1-ЭТИЛПИРИДИНИЕМ: КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Журнал неорганической химии. 2024.
Т.69. №8. С.1128-1134. DOI: 10.31857/S0044457X24080053
РИНЦ
OpenAlex
|
|
14
|
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
Химия высоких энергий. 2024.
Т.58. №6. С.500-507. DOI: 10.31857/S0023119324060112
РИНЦ
|
|
15
|
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Yushina I.V.
, Maksimovskiy E.A.
, Dudkina S.P.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Mogilnikov K.P.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2024.
V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
16
|
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Юшина И.В.
, Максимовский Е.А.
, Дудкина С.П.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Могильников К.П.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА
Журнал структурной химии. 2024.
Т.65. №10. 134149
. DOI: 10.26902/jsc_id134149
РИНЦ
OpenAlex
|
|
17
|
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
High Energy Chemistry. 2024.
V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
18
|
Shentseva I.A.
, Tagiltsev K.A.
, Usoltsev A.N.
, Korobeynikov N.A.
, Shayapov V.R.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Di- and Octanuclear 1,2-Dimethylpyridinium and 3-Bromo-1-Ethylpyridinium Iodoantimonates(III): Crystal Structure and Physicochemical Properties
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024.
V.69. P.1158–1164. DOI: 10.1134/S0036023624601156
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
19
|
Ermakova E.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Pavlov D.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor
ChemPlusChem. 2024.
V.89. e202400094
:1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
20
|
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Khomyakov M.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
Surface & Coatings Technology. 2024.
V.490. 131131
:1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|