1
|
Khizhnyak E.A.
, Shayapov V.R.
, Korolkov I.V.
, Dudkina S.P.
, Geydt P.V.
, Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025.
V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088
WOS
OpenAlex
|
2
|
Shayapov V.R.
, Bogoslovtseva A.L.
, Chepkasov S.Y.
, Kapishnikov A.V.
, Mironova M.I.
, Geydt P.V.
Highly textured AlN films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with optimized process parameters
Solid State Communications. 2025.
V.397. 115821
:1-8. DOI: 10.1016/j.ssc.2024.115821
WOS
OpenAlex
|
3
|
Хижняк Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Корольков И.В.
, Дудкина С.П.
, Гейдт П.В.
, Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025.
Т.66. №2. 140578
:1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578
OpenAlex
|
4
|
Шенцева И.А.
, Тагильцев К.А.
, Усольцев А.Н.
, Коробейников Н.А.
, Шаяпов В.Р.
, Соколов М.Н.
, Адонин С.А.
БИ- И ОКТАЯДЕРНЫЕ ИОДОАНТИМОНАТЫ(III) С 1,2-ДИМЕТИЛПИРИДИНИЕМ И 3-БРОМ-1-ЭТИЛПИРИДИНИЕМ: КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА И ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Журнал неорганической химии. 2024.
Т.69. №8. С.1128-1134. DOI: 10.31857/S0044457X24080053
РИНЦ
OpenAlex
|
5
|
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Юшина И.В.
, Косинова М.Л.
Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда
Химия высоких энергий. 2024.
Т.58. №6. С.500-507. DOI: 10.31857/S0023119324060112
РИНЦ
|
6
|
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Yushina I.V.
, Maksimovskiy E.A.
, Dudkina S.P.
, Saraev A.A.
, Gerasimov E.Y.
, Mogilnikov K.P.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
SiCx:H and SiCxNy:H Amorphous Films Prepared from Hexamethyldisilane Vapors
Journal of Structural Chemistry. 2024.
V.65. N10. P.2041-2057. DOI: 10.1134/s0022476624100147
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
7
|
Чагин М.Н.
, Ермакова Е.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Юшина И.В.
, Максимовский Е.А.
, Дудкина С.П.
, Сараев А.А.
, Герасимов Е.Ю.
, Могильников К.П.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
АМОРФНЫЕ ПЛЕНКИ SiCx:H и SiCxNy:H, ПОЛУЧЕННЫЕ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАНА
Журнал структурной химии. 2024.
Т.65. №10. 134149
. DOI: 10.26902/jsc_id134149
РИНЦ
OpenAlex
|
8
|
Chagin M.N.
, Ermakova E.N.
, Shayapov V.R.
, Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
Amorphous SiCx:H and SiCxNy:H Films Obtained from Hexamethyldisilane Vapor in Inductively Coupled RF Discharge Plasma
High Energy Chemistry. 2024.
V.58. N6. P.693-698. DOI: 10.1134/S0018143924700565
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
9
|
Shentseva I.A.
, Tagiltsev K.A.
, Usoltsev A.N.
, Korobeynikov N.A.
, Shayapov V.R.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Di- and Octanuclear 1,2-Dimethylpyridinium and 3-Bromo-1-Ethylpyridinium Iodoantimonates(III): Crystal Structure and Physicochemical Properties
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024.
V.69. P.1158–1164. DOI: 10.1134/S0036023624601156
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
10
|
Ermakova E.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Pavlov D.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
Carbon-Rich Plasma-Deposited Silicon Oxycarbonitride Films Derived from 4-(Trimethylsilyl)morpholine as a Novel Single-Source Precursor
ChemPlusChem. 2024.
V.89. e202400094
:1-13. DOI: 10.1002/cplu.202400094
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
11
|
Ermakova E.
, Shayapov V.
, Saraev A.
, Maximovsky E.
, Kirienko V.
, Khomyakov M.
, Sulyaeva V.
, Kolodin A.
, Gerasimov E.
, Kosinova M.
Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
Surface & Coatings Technology. 2024.
V.490. 131131
:1-12. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2024.131131
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
12
|
Суляева В.С.
, Шаяпов В.Р.
, Сыроквашин М.М.
, Кожевников А.К.
, Косинова М.Л.
Наноразмерные пленки меди, полученные магнетронным распылением
Журнал структурной химии. 2023.
Т.64. №12. 121572
:1-13. DOI: 10.26902/jsc_id121572
РИНЦ
OpenAlex
|
13
|
Ermakova E.
, Kolodin A.
, Fedorenko A.
, Yushina I.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Kosinova M.
Controlling of Chemical Bonding Structure, Wettability, Optical Characteristics of SiCN:H (SiC:H) Films Produced by PECVD Using Tetramethylsilane and Ammonia Mixture
Coatings. 2023.
V.13. N2. 310
:1-22. DOI: 10.3390/coatings13020310
WOS
Scopus
OpenAlex
|
14
|
Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Syrokvashin M.M.
, Kozhevnikov A.K.
, Kosinova M.L.
Nano-Sized Copper Films Prepared by Magnetron Sputtering
Journal of Structural Chemistry. 2023.
V.64. N12. P.2438-2450. DOI: 10.1134/s0022476623120156
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
15
|
Belaya S.V.
, Maksimovsky E.A.
, Shayapov V.R.
, Shapovalova A.A.
, Kolodin A.N.
, Saraev A.A.
, Asanov I.P.
, Khomyakov M.N.
, Yushina I.V.
, Plekhanov A.G.
, Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
Boron Carbonitride Films with Tunable Composition: LPCVD and PECVD Synthesis Using Trimethylamine Borane and Nitrogen Mixture and Characterization
Applied sciences. 2023.
V.13. N8. 4959
:1-27. DOI: 10.3390/app13084959
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
16
|
Shentseva I.A.
, Usoltsev A.N.
, Korobeynikov N.A.
, Sukhikh T.S.
, Shayapov V.R.
, Sokolov M.N.
, Adonin S.A.
Copper- and Silver-Containing Heterometallic Iodobismuthates: Features of Thermochromic Behavior
International Journal of Molecular Sciences. 2023.
V.24. N8. 7234
:1-12. DOI: 10.3390/ijms24087234
WOS
Scopus
OpenAlex
|
17
|
Ermakova E.
, Sysoev S.
, Tsyrendorzhieva I.
, Mareev A.
, Maslova O.
, Shayapov V.
, Maksimovskiy E.
, Yushina I.
, Kosinova M.
1,4-Bis(trimethylsilyl)piperazine—Thermal Properties and Application as CVD Precursor
Coatings. 2023.
V.13. N6. 1045
:1-23. DOI: 10.3390/coatings13061045
WOS
Scopus
OpenAlex
|
18
|
Shayapov V.R.
, Bogoslovtseva A.L.
, Chepkasov S.Y.
, Asanov I.P.
, Maksimovskiy E.A.
, Kapishnikov A.V.
, Mironova M.I.
, Lapega A.V.
, Geydt P.V.
Chemical Composition, Structure, and Physical Properties of AlN Films Produced via Pulsed DC Reactive Magnetron Sputtering
Coatings. 2023.
V.13. N7. 1281
:1-13. DOI: 10.3390/coatings13071281
WOS
Scopus
OpenAlex
|
19
|
Chagin M.N.
, Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Kolodin A.N.
, Khomyakov M.N.
, Yushina I.V.
, Kosinova M.L.
Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazane
Coatings. 2022.
V.12. N1. 80
:1-26. DOI: 10.3390/coatings12010080
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
20
|
Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
, Yakovkina L.V.
, Korolkov I.V.
CRYSTAL TEXTURE AND MECHANICAL STRESSES IN VO2 FILMS OBTAINED BY MOCVD
Journal of Structural Chemistry. 2022.
V.63. N2. P.235-241. DOI: 10.1134/s0022476622020044
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|