Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Статьи (24)

# Публикация
1 Хижняк Е.А. , Шаяпов В.Р. , Корольков И.В. , Дудкина С.П. , Гейдт П.В. , Лебедев М.С.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУР ОСАЖДЕНИЯ И ОТЖИГА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК TiO2, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ТЕТРАХЛОРИДА ТИТАНА И ВОДЫ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №2. 140578 :1-12. DOI: 10.26902/JSC_id140578 OpenAlex
2 Khizhnyak E.A. , Shayapov V.R. , Korolkov I.V. , Dudkina S.P. , Geydt P.V. , Lebedev M.S.
EFFECT OF DEPOSITION AND ANNEALING TEMPERATURES ON THE PHASE COMPOSITION OF TiO2 FILMS OBTAINED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION FROM TITANIUM TETRACHLORIDE AND WATER
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N2. P.293-303. DOI: 10.1134/S0022476625020088 WOS OpenAlex
3 Atuchin V.V. , Lebedev M.S. , Gromilov S.A. , Korolkov I.V. , Perevalov T.V. , Prosvirin I.P.
Growth and Characterization of Mixed Oxide Hf1−xScxOy (0 ≤ x ≤ 1) Films Prepared by the Atomic Layer Deposition Method
Journal of Electronic Materials. 2025. V.54. P.10.1007/s11664-025-11865-z. DOI: 10.1007/s11664-025-11865-z WOS РИНЦ OpenAlex
4 Petukhova D.E. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Lebedev M.S.
Growth Characteristics, Phase Composition, and Optical Properties of Ti–Sc–O Thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2025. V.70. N9. P.1379-1390. DOI: 10.1134/S0036023625602752 WOS
5 Peschenyuk Y.A. , Ayvazyan G.Y. , Semenov A.A. , Lebedev M.S. , Gatapova E.Y.
Isothermal Evaporation of a Thin Liquid Droplet on Porous Surfaces: Measurements of Thicknesses by the Schlieren Method
Journal of Engineering Thermophysics. 2025. V.34. N2. P.305-311. DOI: 10.1134/s1810232825020079 WOS OpenAlex
6 Петухова Д.Е. , КОРОЛЬКОВ И.В. , САРАЕВ А.А. , ЛЕБЕДЕВ М.С.
Характеристики роста, фазовый состав и оптические свойства тонких пленок Ti-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал неорганической химии. 2025. Т.70. №9. С.1188-1200. DOI: 10.7868/S3034560X25090115
7 Evgeny Khizhnyak , Vladimir Shayapov , Irina Yushina , Mikhail Lebedev
Optical Properties of Hf-Ti-O Films Obtained by Atomic Layer Deposition
В сборнике 2025 IEEE 26th International Con-ference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM) 27 июня - 1 июля 2025. – IEEE Xplore., 2025. DOI: 10.1109/EDM65517.2025.11096808
8 Peschenyuk Y.A. , Semenov A.A. , Ayvazyan G.Y. , Lebedev M.S. , Gatapova E.Y.
Bubble growth in a volatile liquid drop: interface dynamics
Thermophysics and Aeromechanics. 2023. V.29. N6. P.965-973. DOI: 10.1134/s0869864322060178 WOS Scopus OpenAlex
9 Petukhova D.E. , Vikulova E.S. , Korolkov I.V. , Khmel S.Y. , Lebedev M.S.
Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2023. V.64. N3. P.424-436. DOI: 10.1134/s0022476623030083 WOS Scopus OpenAlex
10 Petukhova D.E. , Kichay V.N. , Lebedev M.S.
The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
В сборнике 2023 IEEE 24th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM). 2023. – ISBN 9798350336870. DOI: 10.1109/EDM58354.2023.10225098 OpenAlex
11 Петухова Д.Е. , Викулова Е.С. , Корольков И.В. , Хмель С.Я. , Лебедев М.С.
Особенности роста и фазовый состав тонких плёнок Hf-Sc-O, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения
Журнал структурной химии. 2023. Т.64. №3. 107605 . DOI: 10.26902/jsc_id107605 РИНЦ OpenAlex
12 Lee L. , Chiang C-H. , Shen Y-C. , Wu S-C. , Shih Y-C. , Yang T-Y. , Hsu Y-C. , Cyu R-H. , Yu Y-J. , Hsieh S-H. , Chen C-H. , Lebedev M. , Chueh Y-L.
Rational Design on Polymorphous Phase Switching in Molybdenum Diselenide-Based Memristor Assisted by All-Solid-State Reversible Intercalation toward Neuromorphic Application
ACS Nano. 2023. V.17. N1. P.84-93. DOI: 10.1021/acsnano.2c04356 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
13 Ayvazyan G.Y. , Kovalenko D.L. , Lebedev M.S. , Matevosyan L.A. , Semchenko A.V.
Investigation of the Structural and Optical Properties of Silicon-Perovskite Structures with a Black Silicon Layer
Journal of contemporary physics /. 2022. V.57. N3. P.274-279. DOI: 10.1134/s1068337222030069 WOS Scopus OpenAlex
14 Ayvazyan G.Y. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Shayapov V.R. , Afonin M.Y. , Petukhova D.E. , Yushina I.V. , Maksimovskii E.A. , Aghabekyan A.V.
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition
Journal of contemporary physics /. 2021. V.56. N3. P.240-246. DOI: 10.3103/s1068337221030075 WOS Scopus OpenAlex
15 Ayvazyan G.Y. , Aghabekyan A.V. , Hakhoyan L.A. , Katkov M.V. , Lebedev M.S.
Passivation Properties of Atomic-Layer-Deposited Hafnium Oxide on Black Silicon Surface
В сборнике 2021 IEEE 32nd International Conference on Microelectronics, MIEL 2021 - Proceedings". – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – C.145-147. – ISBN 978-1-6654-4528-3. DOI: 10.1109/miel52794.2021.9569183 OpenAlex
16 Ayvazyan K.G. , Katkov M.V. , Lebedev M.S. , Ayvazyan G.Y.
Enhanced Light-trapping with Conformal ALD Coating of Black Silicon by High-k Metal Oxides
В сборнике Proceedings of the 2021 IEEE 11th International Conference "Nanomaterials: Applications and Properties", NAP 2021. – Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.., 2021. – ISBN 978-1-6654-3907-7. DOI: 10.1109/nap51885.2021.9568530 OpenAlex
17 Katkov M.V. , Ayvazyan G.Y. , Shayapov V.R. , Lebedev M.S.
Modeling of the Optical Properties of Black Silicon Passivated by Thin Films of Metal Oxides
Journal of contemporary physics /. 2020. V.55. N1. P.16-22. DOI: 10.3103/s106833722001003x WOS Scopus OpenAlex
18 Катков М.В. , Айвазян Г.Е. , Шаяпов В.Р. , Лебедев М.С.
МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ЧЁРНОГО КРЕМНИЯ, ПАССИВИРОВАННОГО ТОНКИМИ ПЛЁНКАМИ ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ
Известия НАН РА. Физика. 2020. Т.55. №1. С.24-32.
19 Lebedev M.S. , Khmel S.Y. , Lyulyukin M.N. , Petukhova D.E. , Barsukov A.V.
Low-temperature fabrication of SiO x -TiO 2 core-shell nanowires for photocatalytic application
Vacuum. 2019. V.165. P.51-57. DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.03.059 WOS Scopus OpenAlex
20 Lebedev M.S. , Kruchinin V.N. , Afonin M.Y. , Korolkov I.V. , Saraev A.A. , Gismatulin A.A. , Gritsenko V.A.
Optical properties and charge transport of textured Sc2O3 thin films obtained by atomic layer deposition
Applied Surface Science. 2019. V.478. P.690-698. DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.01.288 WOS Scopus OpenAlex

  • « Назад
  • 1
  • 2
  • Вперед  »
1   /  2   -  Всего 24 записей

Фильтр

Сортировка

Поле Направление

Столбцы

Сбросить