|
41
|
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ
Физика и химия стекла. 2019.
Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180
РИНЦ
OpenAlex
|
|
42
|
Merenkov I.S.
, Katsui H.
, Khomyakov M.N.
, Sulyaeva V.S.
, Pushkarev R.V.
, Tu R.
, Goto T.
, Kosinova M.L.
Extraordinary synergetic effect of precursors in laser CVD deposition of SiBCN films
Journal of The European Ceramic Society. 2019.
V.39. N16. P.5123-5131. DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2019.08.006
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
43
|
Румянцев Ю.М.
, Чагин М.Н.
, Шаяпов В.Р.
, Юшина И.В.
, Кичай В.Н.
, Косинова М.Л.
СИНТЕЗ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК, ОБРАЗУЮЩИХСЯ ИЗ ПАРОВ ТЕТРАМЕТИЛСИЛАНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ РАЗРЯДА
Физика и химия стекла. 2018.
Т.44. №3. С.223-234.
|
|
44
|
Rumyantsev Y.M.
, Chagin M.N.
, Shayapov V.R.
, Yushina I.V.
, Kichai V.N.
, Kosinova M.L.
Synthesis and Properties of Thin Films Formed by Vapor Deposition from Tetramethylsilane in a Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma Discharge
Glass Physics and Chemistry. 2018.
V.44. N3. P.174-182. DOI: 10.1134/S1087659618030124
Scopus
OpenAlex
|
|
45
|
Суляева В.С.
, Шестаков В.А.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Синтез пленок диборида циркония и гетероструктур ZrB2/BCxNy
Неорганические материалы. 2018.
№2. С.146-152. DOI: 10.7868/s0002337x18020057
РИНЦ
OpenAlex
|
|
46
|
Sulyaeva V.S.
, Shestakov V.A.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Synthesis of Zirconium Diboride Films and ZrB2/BCxNy Heterostructures
Inorganic Materials. 2018.
V.54. N2. P.133–139. DOI: 10.1134/S0020168518020152
WOS
Scopus
OpenAlex
|
|
47
|
Суляева В.С.
, Плеханов А.Г.
, Максимовский Е.А.
, Файнер Н.И.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Характеризация тонких пленок карбонитридов бора и кремния методом волнодисперсионной спектроскопии
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2017.
V.53. N6. P.662-666. DOI: 10.7868/s0044185617060225
РИНЦ
OpenAlex
|
|
48
|
Sulyaeva V.S.
, Plekhanov A.G.
, Maksimovskii E.A.
, Fainer N.I.
, Rumyantsev Y.M.
, Kosinova M.L.
Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017.
V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
49
|
Шаяпов В.Р.
, Суляева В.С.
, Румянцев Ю.М.
, Хомяков М.Н.
, Косинова М.Л.
Газоабразивная износостойкость пленок карбонитридов кремния и бора
Письма о материалах. 2017.
Т.7. №3. С.272-277. DOI: 10.22226/2410-3535-2017-3-272-277
WOS
РИНЦ
OpenAlex
|
|
50
|
Ермакова Е.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Рахлин В.И.
, Косинова М.Л.
Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана
Химия высоких энергий. 2016.
Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098
РИНЦ
OpenAlex
|
|
51
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikolaev R.E.
, Nikulina L.D.
, Lis A.V.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Plyusnin P.E.
, Kosinova M.L.
Thermal properties of some organosilicon precursors for chemical vapor deposition
Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. 2016.
V.126. P.609-616. DOI: 10.1007/s10973-016-5563-y
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
52
|
Sulyaeva V.S.
, Rumyantsev Y.M.
, Kesler V.G.
, Kosinova M.L.
Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture
Thin Solid Films. 2015.
V.581. P.59-64. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.12.002
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
53
|
Меренков И.С.
, Косинова М.Л.
, Ермакова Е.Н.
, Максимовский Е.А.
, Румянцев Ю.М.
PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА
Неорганические материалы. 2015.
Т.51. №11. 1183–1189
:1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115
РИНЦ
OpenAlex
|
|
54
|
Ermakova E.
, Mogilnikov K.
, Rumyantsev Y.
, Kichay V.
, Maximovskii E.
, Semenova O.
, Kosinova M.
Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane
Thin Solid Films. 2015.
V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
55
|
Ermakova E.N.
, Sysoev S.V.
, Nikulina L.D.
, Tsyrendorzhieva I.P.
, Rakhlin V.I.
, Kosinova M.L.
Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes
Thermochimica Acta. 2015.
V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
56
|
Ermakova E.
, Rumyantsev Y.
, Shugarov A.
, Panin A.
, Kosinova M.
PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films
Applied Surface Science. 2015.
V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
57
|
Sulyaeva V.S.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
, Kuznetsov F.A.
, Kesler V.G.
, Kirienko V.V.
Optical and electrical characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition boron carbonitride thin films derived from N-trimethylborazine precursor
Thin Solid Films. 2014.
V.558. P.112-117. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.02.082
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
58
|
Суляева В.С.
, Максимовский Е.А.
, Косинова М.Л.
, Румянцев Ю.М.
Особенности анализа элементного состава пленок карбонитрида бора методом ЭДС
Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014.
Т.50. №2. С.219-224. DOI: 10.7868/s004418561402017x
РИНЦ
OpenAlex
|
|
59
|
Sulyaeva V.S.
, Maksimovskii E.A.
, Kosinova M.L.
, Rumyantsev Y.M.
Analysis Features of Elemental Composition of Boron Carbonitride Films by EDS
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2014.
V.50. N2. P.273–277. DOI: 10.1134/S2070205114020178
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
60
|
Ермакова Е.Н.
, Кеслер В.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Косинова М.Л.
Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина
Журнал структурной химии. 2014.
Т.55. №3. С.486-492.
|