Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films

Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films Научная публикация

Журнал

Russian Journal of Inorganic Chemistry
ISSN: 0036-0236 , E-ISSN: 1531-8613

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 68, Страницы: 202–207 Страниц : DOI: 10.1134/S0036023622602173

Авторы

Sysoev S.V. ¹ , Sulyaeva V.S. ¹ , Kosinova M.L. ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, 630090 Russia

Sysoev S.V. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. P.202–207. DOI: 10.1134/S0036023622602173 WOS Scopus OpenAlex

Сысоев С.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.241–247. DOI: 10.31857/S0044457X22601535 РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	26 авг. 2022 г.
Опубликована в печати:	1 сент. 2023 г.

Web of science:	WOS:001102243700032
Scopus:	2-s2.0-85171596005
OpenAlex:	W4386890034

БД	Цитирований
OpenAlex	1
Web of science	1
Scopus	1