Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy Научная публикация

Журнал	Журнал неорганической химии ISSN: 0044-457X
Вых. Данные	Год: 2023, Том: 68, Номер: 2, Страницы: 241–247 Страниц : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22601535
Авторы	Сысоев С.В. 1 , Суляева В.С. 1 , Косинова М.Л. 1
Организации	1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, пр-т Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090 Россия

Информация о финансировании (1)

1

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

121031700314-5