Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy

Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy Научная публикация

Журнал

Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 68, Номер: 2, Страницы: 241–247 Страниц : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22601535

Авторы

Сысоев С.В. ¹ , Суляева В.С. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, пр-т Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090 Россия

Информация о финансировании (1)

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

121031700314-5

Сысоев С.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.241–247. DOI: 10.31857/S0044457X22601535 РИНЦ OpenAlex

Sysoev S.V. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. P.202–207. DOI: 10.1134/S0036023622602173 WOS Scopus OpenAlex

Поступила в редакцию:	26 авг. 2022 г.
Принята к публикации:	12 сент. 2022 г.
Опубликована в печати:	1 февр. 2023 г.

РИНЦ:	50435240
OpenAlex:	W4394831181

БД	Цитирований
РИНЦ	1