Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy

Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy Full article

Journal

Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X

Output data

Year: 2023, Volume: 68, Number: 2, Pages: 241–247 Pages count : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22601535

Authors

Сысоев С.В. ¹ , Суляева В.С. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, пр-т Академика Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090 Россия

Funding (1)

Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation

121031700314-5

Сысоев С.В. , Суляева В.С. , Косинова М.Л.
Термодинамическая характеризация летучих алкиламинборанов как прекурсоров формирования пленок BCxNy
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №2. С.241–247. DOI: 10.31857/S0044457X22601535 РИНЦ OpenAlex

Sysoev S.V. , Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. P.202–207. DOI: 10.1134/S0036023622602173 WOS Scopus OpenAlex

Submitted:	Aug 26, 2022
Accepted:	Sep 12, 2022
Published print:	Feb 1, 2023

Elibrary:	50435240
OpenAlex:	W4394831181

DB	Citing
Elibrary	1