Articles - Sciact

Articles (88)

#	Публикация
61	Sulyaeva V.S. , Plekhanov A.G. , Maksimovskii E.A. , Fainer N.I. , Rumyantsev Y.M. , Kosinova M.L. Characterization of Thin Boron and Silicon Carbonitride Films by Wavelength Dispersive Spectroscopy Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2017. V.53. N6. P.1187–1191. DOI: 10.1134/S2070205117060211 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
62	Шаяпов В.Р. , Суляева В.С. , Румянцев Ю.М. , Хомяков М.Н. , Косинова М.Л. Газоабразивная износостойкость пленок карбонитридов кремния и бора Письма о материалах. 2017. Т.7. №3. С.272-277. DOI: 10.22226/2410-3535-2017-3-272-277 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
63	Ермакова Е.Н. , Румянцев Ю.М. , Рахлин В.И. , Косинова М.Л. Плазмохимический синтез прозрачных диэлектрических пленок Si–C–O–H из триметилфеноксисилана Химия высоких энергий. 2016. Т.50. №3. С.232–235. DOI: 10.7868/S0023119316030098 РИНЦ OpenAlex
64	Ermakova E.N. , Sysoev S.V. , Nikolaev R.E. , Nikulina L.D. , Lis A.V. , Tsyrendorzhieva I.P. , Rakhlin V.I. , Plyusnin P.E. , Kosinova M.L. Thermal properties of some organosilicon precursors for chemical vapor deposition Journal of Thermal Analysis and Calorimetry. 2016. V.126. P.609-616. DOI: 10.1007/s10973-016-5563-y WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
65	Sulyaeva V.S. , Rumyantsev Y.M. , Kesler V.G. , Kosinova M.L. Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture Thin Solid Films. 2015. V.581. P.59-64. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.12.002 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
66	Меренков И.С. , Косинова М.Л. , Ермакова Е.Н. , Максимовский Е.А. , Румянцев Ю.М. PECVD СИНТЕЗ НАНОСТЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ИЗ СМЕСИ БОРАЗИНА И АММИАКА Неорганические материалы. 2015. Т.51. №11. 1183–1189 :1-7. DOI: 10.7868/S0002337X15100115 РИНЦ OpenAlex
67	Ermakova E. , Mogilnikov K. , Rumyantsev Y. , Kichay V. , Maximovskii E. , Semenova O. , Kosinova M. Study of Cu diffusion behavior in carbon rich SiCN:H films deposited from trimethylphenylsilane Thin Solid Films. 2015. V.588. P.39-43. DOI: 10.1016/j.tsf.2015.04.058 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
68	Ermakova E.N. , Sysoev S.V. , Nikulina L.D. , Tsyrendorzhieva I.P. , Rakhlin V.I. , Kosinova M.L. Synthesis and characterization of organosilicon compounds as novel precursors for CVD processes Thermochimica Acta. 2015. V.622. P.2-8. DOI: 10.1016/j.tca.2015.02.004 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
69	Ermakova E. , Rumyantsev Y. , Shugarov A. , Panin A. , Kosinova M. PECVD synthesis, optical and mechanical properties of silicon carbon nitride films Applied Surface Science. 2015. V.339. P.102-108. DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.02.155 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
70	Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. , Kuznetsov F.A. , Kesler V.G. , Kirienko V.V. Optical and electrical characteristics of plasma enhanced chemical vapor deposition boron carbonitride thin films derived from N-trimethylborazine precursor Thin Solid Films. 2014. V.558. P.112-117. DOI: 10.1016/j.tsf.2014.02.082 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
71	Суляева В.С. , Максимовский Е.А. , Косинова М.Л. , Румянцев Ю.М. Особенности анализа элементного состава пленок карбонитрида бора методом ЭДС Физикохимия поверхности и защита материалов. 2014. Т.50. №2. С.219-224. DOI: 10.7868/s004418561402017x РИНЦ OpenAlex
72	Sulyaeva V.S. , Maksimovskii E.A. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. Analysis Features of Elemental Composition of Boron Carbonitride Films by EDS Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces. 2014. V.50. N2. P.273–277. DOI: 10.1134/S2070205114020178 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
73	Ермакова Е.Н. , Кеслер В.Г. , Румянцев Ю.М. , Косинова М.Л. Исследование типов химических связей в пленках, полученных плазмохимическим разложением паров бис(триметилсилил)этиламина Журнал структурной химии. 2014. Т.55. №3. С.486-492.
74	Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. , Kesler V.G. , Kuznetsov F.A. PECVD synthesis and optical properties of BCXNY films obtained from N-triethylborazine as a single-source precursor Surface & Coatings Technology. 2013. V.230. P.145-151. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2013.06.018 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
75	Сысоев С.В. , Никулина Л.Д. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. , Рахлин В.И. , Цырендоржиева И.П. , Лис А.В. , Воронков М.Г. Et3GeN(SiМе3)2 И Et3SnN(SiМе3)2 – НОВЫЕ ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ ГАЗОФАЗНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ Неорганические материалы. 2013. Т.49. №4. С.376-380. DOI: 10.7868/s0002337x13040179 РИНЦ OpenAlex
76	Ermakova E. , Lis A. , Kosinova M. , Rumyantsev Y. , Maximovskii E. , Rakhlin V. Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor Physics Procedia. 2013. V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
77	Korobeinichev O.P. , Shmakov A.G. , Maksyutov R.A. , Tereshchenko A.G. , Knyazkov D.A. , Bolshova T.A. , Kosinova M.L. , Sulyaeva V.S. , Wu J.-S. Synthesis of mesoporous nanocrystalline TiO2 films in a premixed H2/O2/Ar flame Combustion, Explosion, and Shock Waves. 2012. V.48. N1. P.49-56. DOI: 10.1134/s0010508212010078 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
78	Hoffmann P.S. , Baake O. , Kosinova M.L. , Beckhoff B. , Klein A. , Pollakowski B. , Trunova V.A. , Sulyaeva V.S. , Kuznetsov F.A. , Ensinger W. Chemical bonds and elemental compositions of BCxNy layers produced by chemical vapor deposition with trimethylamine borane, triethylamine borane, or trimethylborazine X-Ray Spectrometry. 2012. V.41. N4. P.240-246. DOI: 10.1002/xrs.2387 WOS Scopus OpenAlex
79	Кеслер В.Г. , Косинова М.Л. , Румянцев Ю.М. , Суляева В.С. Исследование химического состава пленок BCxNy методами РФЭС и Оже-спектроскопии Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.710 – 717.
80	Kesler V.G. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. , Sulyaeva V.S. X-ray photoelectron and auger spectroscopic study of the chemical composition of BCxNy films Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.699-707. DOI: 10.1134/s0022476612040129 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

4 / 5 - Total 88 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Order

Columns

Per page

Reset