ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ

ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ Full article

Journal

Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651

Output data

Year: 2019, Volume: 45, Number: 6, Pages: 519-527 Pages count : 9 DOI: 10.1134/S0132665119060180

Tags

PECVD, карбонитрид кремния, гексаметилциклотрисилазан, эмиссионная спектроскопия

Authors

Шаяпов В.Р. ¹ , Чагин М.Н. ¹ , Колодин А.Н. ¹ , Косинова М.Л. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

В индуктивно-связанной плазме высокочастотного разряда из смеси паров гексаметилциклотрисилазана и аргона получены пленки SiCxNy:H при температурах подложек 100–400°C и мощности разряда 200 Вт. Определены простейшие компоненты плазмы (азот, циан, атомы кремния, свободные радикалы CH, димеры C2). Исследованы некоторые физико-химические свойства пленок, скорость роста, типы химических связей, показатель преломления, интервал прозрачности, краевой угол смачивания. Синтезированные пленки имеют полимероподобное строение.

Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л.
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ
Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex

Shayapov V.R. , Chagin M.N. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L.
Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma
Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X Scopus OpenAlex

Submitted:	May 23, 19
Accepted:	Aug 7, 19

Elibrary:	41319433
OpenAlex:	W2991318670

Пока нет цитирований