ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ Научная публикация
Журнал |
Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651 |
||
---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2019, Том: 45, Номер: 6, Страницы: 519-527 Страниц : 9 DOI: 10.1134/S0132665119060180 | ||
Ключевые слова | PECVD, карбонитрид кремния, гексаметилциклотрисилазан, эмиссионная спектроскопия | ||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Реферат:
В индуктивно-связанной плазме высокочастотного разряда из смеси паров гексаметилциклотрисилазана и аргона получены пленки SiCxNy:H при температурах подложек 100–400°C и мощности разряда 200 Вт. Определены простейшие компоненты плазмы (азот, циан, атомы кремния, свободные радикалы CH, димеры C2). Исследованы некоторые физико-химические свойства пленок, скорость роста, типы химических связей, показатель преломления, интервал прозрачности, краевой угол смачивания. Синтезированные пленки имеют полимероподобное строение.
Библиографическая ссылка:
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Колодин А.Н.
, Косинова М.Л.
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ
Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ
Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex
Переводная:
Shayapov V.R.
, Chagin M.N.
, Kolodin A.N.
, Kosinova M.L.
Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma
Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X Scopus OpenAlex
Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma
Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: | 23 мая 19 г. |
Принята к публикации: | 7 авг. 19 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ: | 41319433 |
OpenAlex: | W2991318670 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований