|
81
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Rakhlin V.I.
, Maximovski E.A.
, Shayapov V.R.
PECVD Synthesis of Silicon Carbonitride Layers Using Methyltris(diethylamino)silane as the New Single-Source Precursor
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2015.
Т.4. №1. С.N3153-N3163. DOI: 10.1149/2.0201501jss
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
82
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть I. Химический и фазовый состав
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №5. С.749-758.
РИНЦ
|
|
83
|
Файнер Н.И.
, Плеханов А.Г.
, Румянцев Ю.М.
, Юшина И.В.
, Шаяпов В.Р.
, Кичай В.Н.
Пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния. Часть II. Физико-химические и функциональные свойства
Физика и химия стекла. 2014.
Т.40. №6. С.837-845.
РИНЦ
|
|
84
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Maximovskii E.A.
, Shayapov V.R.
Films of Hydrogenated Silicon Oxycarbonitride. Part I. Chemical and Phase Composition
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N5. P.570-577. DOI: 10.1134/S1087659614050034
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
85
|
Fainer N.I.
, Plekhanov A.G.
, Rumyantsev Y.M.
, Yushina I.V.
, Shayapov V.R.
, Kichai V.N.
Hydrogenated silicon oxycarbonitride films. Part II. Physicochemical and functional properties
Glass Physics and Chemistry. 2014.
V.40. N6. P.643-649. DOI: 10.1134/S1087659614060042
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
86
|
Shayapov V.R.
, Khomyakov M.N.
, Rumyantsev Y.M.
Scanning probe microscopy and nanoindentation studies of silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane
Письма о материалах. 2014.
V.4. N2. P.114-116.
РИНЦ
|
|
87
|
Shayapov V.R.
, Rumyantsev Y.M.
, Dzyuba A.A.
, Ayupov B.M.
, Fainer N.I.
Mechanical stresses in silicon carbonitride films obtained by PECVD from hexamethyldisilazane
Applied Surface Science. 2013.
V.265. P.385-388. DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.11.017
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
88
|
Шаяпов В.Р.
, Рогов А.Б.
, Румянцев Ю.М.
, Аюпов Б.М.
, Лабусов В.А.
, Зарубин И.А.
Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2"
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012.
Т.78. №1. С.96-98.
РИНЦ
|
|
89
|
Аюпов Б.М.
, Шаяпов В.Р.
Использование спектрометра "Колибри-2" для исследования твердых тел
Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012.
Т.78. №1-2. С.101-104.
РИНЦ
|
|
90
|
Шаяпов В.Р.
, Румянцев Ю.М.
, Файнер Н.И.
, Аюпов Б.М.
Оптические и механические свойства пленок, полученных плазмохимическим разложением гексаметилдисилазана
Журнал физической химии. 2012.
Т.86. №11. С.1841-1846.
|
|
91
|
Shayapov V.R.
, Rumyantsev Y.M.
, Fainer N.I.
, Ayupov B.M.
Optical and Mechanical Properties of Films Obtained by Plasma Decomposition of Hexamethyldisilazane
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2012.
V.86. N11. P.1716-1720. DOI: 10.1134/S0036024412110258
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
92
|
Rogov A.B.
, Slonova A.I.
, Shayapov V.R.
Peculiarities of iron-containing microplasma coating deposition on aluminum in homogeneous electrolyte
Applied Surface Science. 2012.
V.261. P.647-652. DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.08.075
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
93
|
Rogov A.B.
, Shayapov V.R.
Correlations between the optical emission spectra and microstructure of microplasma coatings on aluminum 2024 alloy
Applied Surface Science. 2012.
V.258. P.4871-4876. DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.01.097
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
94
|
Shayapov V.R.
Application of Surface Acoustic Wave Spectroscopy for Study of Physical Properties of Thin Films
В сборнике
XIII INTERNATIONAL CONFERENCE AND SEMINAR ON MICRO/NANOTECHNOLOGIES AND ELECTRON DEVICES EDM 2012.
– IEEE.,
2012.
– C.99-102. – ISBN 978-1-4673-2520-2. DOI: 10.1109/EDM.2012.6310197
OpenAlex
|
|
95
|
Ayupov B.M.
, Zarubin I.A.
, Labusov V.A.
, Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
Searching for the starting approximation when solving inverse problems in ellipsometry and spectrophotometry
Journal of Optical Technology. 2011.
V.78. N6. P.350-354. DOI: 10.1364/jot.78.000350
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
96
|
Shayapov V.R.
, Kosinova M.L.
, Smirnov A.P.
, Maksimovskii E.A.
, Ayupov B.M.
, Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011.
V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|
|
97
|
Аюпов Б.М.
, Зарубин И.А.
, Лабусов В.А.
, Суляева В.С.
, Шаяпов В.Р.
Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии
Оптический журнал. 2011.
Т.78. №6. С.3-9.
|
|
98
|
Шаяпов В.Р.
, Косинова М.Л.
, Смирнов А.П.
, Максимовский Е.А.
, Аюпов Б.М.
, Румянцев Ю.М.
Механические свойства и плотность пленок BCxNy, синтезированных из триэтиламинборана методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении
Неорганические материалы. 2011.
Т.43. №3. С.312-316.
РИНЦ
|
|
99
|
Аюпов Б.М.
, Румянцев Ю.М.
, Шаяпов В.Р.
Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах
ПОВЕРХНОСТЬ. Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования. 2010.
№5. С.100-105.
|
|
100
|
Ayupov B.M.
, Rumyantsev Y.M.
, Shayapov V.R.
Features of Determination of Thickness of Dielectric Films
Obtained in Searching Experiments
Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques. 2010.
V.4. N3. P.452-457. DOI: 10.1134/S1027451010030158
WOS
Scopus
РИНЦ
OpenAlex
|